PLT320-SM
Lineartische

Schwerlast Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 300 - 1000 mm, Repro ± 3.9 µm, Last 94 kg, Speed 60 mm/s
PLT320-SM

 

Genauigkeiten im Mikroschrittbetrieb

Mit einer Breite von 320 mm ist der PLT320-SM die größte Variante innerhalb der PLT-Serie. Mit einem Schrittmotor als Antrieb ermöglicht der PLT320-SM eine präzise Ansteuerung im Mikrometerbereich.

Vielseitig kombinierbar

Er lässt sich einfach mit weiteren Lineartischen zu komplexen Mehrachssystemen kombinieren. Durch seine Selbsthaltekraft, in Kombination mit einer elektromagnetischen Bremse, überzeugt der PLT320-SM sowohl in horizontalen als auch in vertikalen Anwendungen.

Universell einsetzbar

Applikationsübergreifend findet der PLT320 Einsatz in industriellen Umgebungen, welche in der Lasertchnik, Halbleitertechnik oder im Sondermaschinenbau gefordert werden. Zudem garantiert der Lineartisch Zuverlässigkeit und eine lange Lebensdauer.

 

PLT320   -300-SM -400-SM -500-SM -750-SM -1000-SM
Verfahrweg [mm] 300 400 500 750 1000
Wiederholgenauigkeit unidirektional [μm] ± 3.9 ± 3.9 ± 3.9 ± 3.9 ± 3.9
Wiederholgenauigkeit bidirektional [μm] ± 4.4 ± 4.4 ± 4.4 ± 4.4 ± 4.4
Positioniergenauigkeit [μm] ± 14.1 ± 16.3 ± 18.5 ± 23.8 ± 28.8
Ebenheitsabweichung [μm] ± 9 ± 12 ± 15 ± 25 ± 30
Geradheitsabweichung [μm] ± 4.5 ± 6 ± 7.5 ± 11 ± 15
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 30 30 30 30 30
Max. Geschwindigkeit [mm/s] 60 60 60 60 60
Max. Beschleunigung [m/s2] 0.6 0.6 0.6 0.6 0.6
Max. Last Fx [N] 940 940 940 940 940
Max. Last Fy [N] 3100 3100 3100 3100 3100
Max. Last Fz [N] 3100 3100 3100 3100 3100
Max. Lastmoment Mx [Nm] 110 110 110 110 110
Max. Lastmoment My [Nm] 150 150 150 150 150
Max. Lastmoment Mz [Nm] 150 150 150 150 150
Nicken [µrad] ± 35 ± 40 ± 45 ± 55 ± 65
Gieren [µrad] ± 17 ± 20 ± 20 ± 25 ± 30
Auflösung [µm] 1.563 1.563 1.563 1.563 1.563
L1 [mm] 810 910 1010 1260 1510

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

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Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Standardachsen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Linear Stages    Technischen Berater kontaktieren

Ja, Lineartische können auch als Hubtische (Z-Richtung) sowie gestapelt (XY-Bewegungen verwendet werden).

Wichtig dafür ist, dass die maximale Kraft in Antriebsrichtung nicht überschritten wird. Die Kraft für die vertikale Positionierung wird in der Spezifikation bei Linear Stages unter Fx angegeben.

 

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Linear Stages, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genaue Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Positioniertische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch! 
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.

Welche Oberflächen sind verfügbar?

Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.

Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:

  • Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
  • Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
  • Piezomotoren wie Piezo-Legs® oder Nanomotion®.

Als Feedback-System werden in den meisten Fällen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur® bzw. Zeromet® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.


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