KT305-EDLM
Kreuztische

Performance XY Stage (Linearmotor), Hub 210 x 210 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 8 kg, Speed 225 mm/s
KT305-EDLM

 

Scantisch für hochdynamische Anwendungen

Dieser kompakte Kreuztisch wurde speziell als schneller Scantisch für diverse Messapplikationen entwickelt. Er kombiniert eine hohe Steifigkeit mit gleichzeitig exzellentem Ablaufverhalten, wobei die integrierten Linearmotoren eine hohe Dynamik gewährleisten.

Diese KT-Serie ist in drei Baugrößen mit jeweils unterschiedlichen Verfahrwegen verfügbar: bis zu 110 mm (KT230), 210 mm (KT305) und 320 mm (KT405) in X- und Y-Richtung.

Extrem schnell mit hoher Auflösung und Genauigkeit

  • Ideal für Scananwendungen in der Messtechnik und Mikroskopie
  • Hochpräzise Wiederholgenauigkeit bis zu 0.3 µm
  • Hohe Geschwindigkeiten bis 150 mm/s
  • PositionSave-Funktion hält die exakte Position der Achsen ein, auch wenn die Motoren unbestromt sind

Anwendungsfelder

Messtechnik, Hochauflösende Mikroskopie, Screening, Konfokale Mikroskopie, Biotechnologie, 3-D-Imaging, Interferometrie

 

KT305   -210-EDLM-L
Verfahrweg [mm] 210
Wiederholgenauigkeit unidirektional [μm] ± 0.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional [μm] ± 0.4
Positioniergenauigkeit [μm] ± 2.7
Ebenheitsabweichung [μm] ± 5.3
Geradheitsabweichung [μm] ± 3.2
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 150
Max. Geschwindigkeit [mm/s] 225
Max. Beschleunigung [m/s2] 3
Max. Last Fx [N] 15
Max. Last Fy [N] 15
Max. Last Fz [N] 80
Max. Lastmoment Mx [Nm] 3.2
Max. Lastmoment My [Nm] 3.2
Max. Lastmoment Mz [Nm] 3.1
Nicken [µrad] ± 140
Gieren [µrad] ± 70
Länge [mm] 305
Breite [mm] 305
Höhe [mm] 85
Gewicht [kg] 22
Motor   Dynamischer Linearmotor (eisenlos), Ironless Dynamic Linear Motor
Feedback   Linearmesssystem, Linear Scale

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

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Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Standardachsen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Linear Stages    Technischen Berater kontaktieren

Ja, Lineartische können auch als Hubtische (Z-Richtung) sowie gestapelt (XY-Bewegungen verwendet werden).

Wichtig dafür ist, dass die maximale Kraft in Antriebsrichtung nicht überschritten wird. Die Kraft für die vertikale Positionierung wird in der Spezifikation bei Linear Stages unter Fx angegeben.

 

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Linear Stages, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genaue Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Positioniertische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch! 
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.

Welche Oberflächen sind verfügbar?

Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.

Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:

  • Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
  • Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
  • Piezomotoren wie Piezo-Legs® oder Nanomotion®.

Als Feedback-System werden in den meisten Fällen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur® bzw. Zeromet® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.


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