KDT310-DC
Kreuztische

XY Positioniertisch (Spindelantrieb), Hub 100 x 100 mm, Apertur 150 mm, Repro ± 0.5 µm, Last 7 kg, Speed 60 mm/s
KDT310-DC

 

Scantisch mit großer Durchlichtöffnung

Platzsparendes Design und eine große Apertur kennzeichnen diesen robusten Kreuztisch. Hochpräzise Kugelgewindespindeln und eine justierbare Orthogonalität gewährleisten hochgenaue Positionier- und Ablaufgenauigkeiten. Gleichzeitig überzeugt er durch sein gutes Preis-Leistungsverhältnis und eine lange Lebensdauer.

Speziell für Mikroskopieaufgaben

  • Ideal für Mikroskopie, optische Inspektionssysteme und Laserbearbeitung
  • Hochpräzise Wiederholgenauigkeit bis zu 0.5 µm
  • Gutes Preis-Leistungs-Verhältnis und sehr hohe Lebensdauer
  • Optional als Schrittmotorvariante oder mit 50 mm Verfahrweg (KDT235) erhältlich

Anwendungsfelder

Hochauflösende Anwendungen in der Mikroskopie, optische Inspektionssysteme, 3D-Imaging, Screening, Interferometrie, Messtechnik, Autofokus-Systeme, Biotechnologie, Halbleitertests

 

Modell KDT310   -100-DC-R -100-DC-L
Verfahrweg [mm] 100 100
Wiederholgenauigkeit unidirektional [μm] ± 1.5 ± 0.5
Wiederholgenauigkeit bidirektional [μm] ± 2 ± 0.7
Positioniergenauigkeit [μm] ± 18 ± 6.1
Ebenheitsabweichung [μm] ± 7 ± 7
Geradheitsabweichung [μm] ± 5 ± 5
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 30 30
Max. Geschwindigkeit [mm/s] 60 60
Max. Beschleunigung [m/s2] 0.5 0.5
Max. Last Fx [N] 45 45
Max. Last Fy [N] 45 45
Max. Last Fz [N] 70 70
Max. Lastmoment Mx [Nm] 6.1 6.1
Max. Lastmoment My [Nm] 6.1 6.1
Max. Lastmoment Mz [Nm] 5.6 5.6
Nicken [µrad] ± 150 ± 150
Gieren [µrad] ± 100 ± 100
Gewicht [kg] 13 13
Länge [mm] 310 310
Breite [mm] 310 310
Höhe [mm] 80 80
Durchlicht [mm] 150 150
Motor   DC-Motor DC-Motor
Feedback   Motor-Encoder Linearmesssystem, Linear Scale

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Standardachsen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Linear Stages    Technischen Berater kontaktieren

Ja, Lineartische können auch als Hubtische (Z-Richtung) sowie gestapelt (XY-Bewegungen verwendet werden).

Wichtig dafür ist, dass die maximale Kraft in Antriebsrichtung nicht überschritten wird. Die Kraft für die vertikale Positionierung wird in der Spezifikation bei Linear Stages unter Fx angegeben.

 

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Linear Stages, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genaue Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Positioniertische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch! 
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.

Welche Oberflächen sind verfügbar?

Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.

Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:

  • Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
  • Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
  • Piezomotoren wie Piezo-Legs® oder Nanomotion®.

Als Feedback-System werden in den meisten Fällen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur® bzw. Zeromet® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.

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