KDT105-PM
Kreuztische

XY Piezo-Scanning-Stage, Hub 50 x 50 mm, Apertur 50 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 5 kg, Speed 7.5 mm/s
KDT105-PM

 

Hochkompakt für anspruchsvolle Umgebungen

Ausgestattet mit einem Piezo Motor erreicht der Kreuztisch mit Durchlichtöffnung und Kreuzrollenführungen kleinste Schritte im Nanometerbereich mit einer nahezu unerreichbaren Positionsstabilität. Gemessen an seiner Größe von 150 x 150 x 50 mm verfügt er über einen großen Verfahrweg von 50 mm in X- und Y-Richtung.

  • Hohe Wiederholgenauigkeit bis ± 0.3 µm
  • Große Apertur von 40 x 40 mm
  • Flexibel anpassbar für anspruchsvolle Umweltbedingungen
Optionen:
  • Mit und ohne Durchlicht
  • Ausführung mit Nanomotion oder Piezo Motor
  • Flexibel kombinierbar zu XYZ-R Mehrachssystemen z.B. Drehtisch DT105, Hubtisch HT160, MT105
  • Verschiedene Varianten für Reinraum, Strahlung, Vakuum und Magnetismus

Anwendungsfelder

Hochauflösende Anwendungen in der Mikroskopie, Halbleiterinspetion, Bioprinting, Superresolution-Mikroskopie, Scanning-Mikroskopie, 3D-Imaging, Screening, Vakuumkammern, Halbleitertests, Forschung, Experimentalphysik, Krebszellen-Forschung

 

KDT105   -50-PM
Verfahrweg [mm]  50
Wiederholgenauigkeit unidirektional [µm] ± 0.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional [µm] ± 0.4
Positioniergenauigkeit [µm] ± 4
Ebenheitsabweichung [µm] ± 4
Geradheitsabweichung [µm] ± 3
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 5
Max. Geschwindigkeit [mm/s] 7.5
Max. Beschleunigung [m/s2] 0.1
Max. Last Fx [N] 5
Max. Last Fy [N] 5
Max. Last Fz [N] 45
Max. Lastmoment Mx [Nm] 0.7
Max. Lastmoment My [Nm] 0.7
Max. Lastmoment Mz [Nm] 0.6
Nicken [µrad] ± 180
Gieren [µrad] ± 50
Länge [mm] 150
Breite [mm] 150
Höhe [mm] 50
Gewicht [kg] 2.5
Apertur [mm] 40 x 40
Führung   Kreuzrolle
Motor   Piezo Motor
Feedback   Linearmesssystem
Auflösung Messsystem   0,005 µm, optional bis zu 0,001 µm
Material   Aluminium eloxiert
Optionale Zusatzausstattung   Drehtisch DT105, Z-Achse HT160 / MT105, kundenspezifsche Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum    bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung    UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus    magnetisch, magnetarm, magnetfrei
Varianten Vakuum    bis 10E-11 mbar (höher auf Anfrage)

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

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Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Standardachsen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Linear Stages    Technischen Berater kontaktieren

Ja, Lineartische können auch als Hubtische (Z-Richtung) sowie gestapelt (XY-Bewegungen verwendet werden).

Wichtig dafür ist, dass die maximale Kraft in Antriebsrichtung nicht überschritten wird. Die Kraft für die vertikale Positionierung wird in der Spezifikation bei Linear Stages unter Fx angegeben.

 

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Linear Stages, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genaue Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Positioniertische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch! 
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.

Welche Oberflächen sind verfügbar?

Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.

Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:

  • Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
  • Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
  • Piezomotoren wie Piezo-Legs® oder Nanomotion®.

Als Feedback-System werden in den meisten Fällen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur® bzw. Zeromet® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.


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