LA340-EDLM
Lineartische

High Performance Stage (Luftlager), Hub 500 - 2000 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 10 kg, Speed 3090 mm/s
LA340-EDLM

 

Hochdynamische Linearachse mit Luftlager

Das Antriebskonzept dieser Linearachse basiert auf einem dynamischen Linearmotor und einem linearen Messsystem, wodurch sie hervorragende Werte in Ebenheit und Geradheit für hochdynamische Anwendungen erreicht. Durch den Granitaufbau mit Luftlagerung wird ein partikelfreier Betrieb sowie eine besonders lange Lebensdauer gewährleistet.

  • Ideal für partikelfreie, hochdynamische Anwendungen mit hoher Präzision
  • Perfekte Ebenheit und hohe Wiederholgenauigkeit bis ± 0.3 µm
  • Hohe Dynamik bei Geschwindigkeiten bis 2060 mm/s
  • Sehr hohe Belastbarkeit bis 50 kg
  • Ausgelegt für den wartungsfreien 3-Schicht-Betrieb im Reinraum

Optionen:

  • Verfahrwege von 500 - 2000 mm
  • Ausführung für Reinraum, Labor oder Produktion
  • Wahlweise mit Grundplatte und Gestell
  • Verschiedene Messsystemauflösungen bis 0,001 µm
  • Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Anwendungsfelder

Aufbau von dynamischen und hochpräzisen Mehrachssystemen für Reinraumanwendungen, Halbleitertechnik: Waferinspektion, Vermessung großer Substrate, TFT / OLED Inspektion, Halbleiterdrucker zum Aufbringen von Schichtkomponenten, Biotechnologie: Labordiagnostik, bildbasiertes Inline-Monitoring, High-Speed-Mikroskopie, Laborautomation, Lineartisch für Präzisionsscanner

 

LA340-EDLM   -500-EDLM-L -1000-EDLM-L -1500-EDLM-L -2000-EDLM-L
Verfahrweg [mm]  500 1000 1500 2000
Wiederholgenauigkeit unidirektional [µm] ± 0.3 ± 0.3 ± 0.3 ± 0.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional [µm] ± 0.4 ± 0.4 ± 0.4 ± 0.4
Positioniergenauigkeit [µm] ± 1.9 ± 3 ± 4.1 ± 5.2
Ebenheitsabweichung [µm] ± 0.8 ± 1.5 ± 2.3 ± 3
Geradheitsabweichung [µm] ± 0.8 ± 1.5 ± 2.3 ± 3
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 790 1210 1630 2060
Max. Geschwindigkeit [mm/s] 1185 1815 2445 3090
Max. Beschleunigung [m/s2] 16 25 35 40
Max. Last Fx [N] 100 100 100 100
Max. Last Fy [N] 500 500 500 500
Max. Last Fz [N] 500 500 500 500
Max. Lastmoment Mx [Nm] 30 30 30 30
Max. Lastmoment My [Nm] 50 50 50 50
Max. Lastmoment Mz [Nm] 30 30 30 30
Nicken [µrad] ± 11 ± 16 ± 19 ± 20
Gieren [µrad] ± 11 ± 16 ± 19 ± 20
Länge [mm] 1060 1560 2060 2560
Breite [mm] 379 379 379 379
Höhe [mm] 310 310 310 310
Gewicht [kg] 370
Gewicht mit Gestell [kg] 640
Führung   Luftlager
Antrieb   Linearmotor
Motor   Dynamischer Linearmotor (eisenlos)
Feedback   Linearmesssystem
Messsystem Auflösungen   0.05 µm (optional bis zu 0.001 µm)
Material    Aluminium eloxiert, Granit
Optionale Zusatzausstattung   Gestell
Varianten Reinraum    bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung    UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus    auf Anfrage
Varianten Vakuum    auf Anfrage

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

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Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

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Nahezu alle hier dargestellten atmosphärischen Standard-Drehtische sind optional uneloxiert und mit UHV-geeigneter Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar verfügbar. In dieser Ausführung erreichen sie mindestens Reinraumklasse ISO 6 – oder besser – und eignen sich damit auch für anspruchsvollere Umgebungen.

Für höhere Anforderungen stehen speziell ausgelegte Drehtisch-Varianten zur Verfügung, beispielsweise für Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlungsumgebungen.

Die Vakuum-Drehtische sind konstruktiv besonders auf hohe axiale und radiale Lasten ausgelegt. Verstärkte Lagerkonzepte, angepasste Werkstoffauswahl sowie vakuumgeeignete Schmier- und Beschichtungssysteme ermöglichen stabile Rotation auch bei hohen Nutzlasten und großen Massenträgheiten.

Übersicht Reinraum & Vakuum Drehtische     Technischen Berater kontaktieren

Materialien für Drehtische

Steinmeyer Mechatronik verwendet für die Struktur von Drehtischen überwiegend Aluminium. Dieses Material bietet ein optimales Verhältnis aus Gewicht, Steifigkeit und thermischer Leitfähigkeit – entscheidend für präzise Rundlauf- und Wiederholgenauigkeit.

Aluminium leitet lokale Erwärmungen, beispielsweise durch Motorverluste oder Lagerreibung, effizient ab. Dadurch erreicht der Drehtisch schnell einen thermisch stabilen Zustand – eine wesentliche Voraussetzung für konstante Winkelgenauigkeit bei Dauerbetrieb oder Hochdynamik.

Die geringere Steifigkeit von Aluminium im Vergleich zu Stahl wird konstruktiv kompensiert, beispielsweise durch:

  • Verstärkte Gehäuse- und Lagerstrukturen
  • Optimierte Wandstärken und Bauhöhen
  • Hohlprofilkonstruktionen mit hoher Torsionssteifigkeit

Für spezielle Anforderungen – etwa hohe Belastungen, vakuumtaugliche Ausführungen oder magnetfeldkritische Anwendungen – sind alternativ Stahl- oder Titan-Varianten möglich.


Funktionale Oberflächen und Beschichtungen für Drehtische

Neben Standardoberflächen stehen zahlreiche kundenspezifische Beschichtungs- und Oberflächenkonzepte zur Verfügung. Diese sind gezielt darauf ausgelegt, sehr hohe Reinraumklassen – bis ISO 1–2, abhängig von Anwendung und Prozess – zu erreichen.

Zur Erfüllung anspruchsvoller Prozessanforderungen entwickeln und qualifizieren wir applikationsspezifische Funktionsbeschichtungen, unter anderem:

  • Nickel-Beschichtungen
  • PTFE- & KEPLA®-Beschichtungen
  • Fluorierte Schmierstoffe
  • Dicronite® / Dry-Film-Beschichtungen
  • Applikationsspezifische Beschichtungskombinationen

Darüber hinaus sind verfügbar:

  • Eloxiert (gereinigt)
  • Alternative Farb-Eloxale
  • Aluminium blank, gereinigt
  • Bilatal
  • Nickel

Diese Oberflächen eignen sich insbesondere für:

  • Hohe Reinheitsanforderungen im Reinraum
  • Vakuumanwendungen
  • Chemisch aggressive Umgebungen (z. B. Life Science)
  • Optische Systeme mit Streulichtanforderungen


Warum Funktionsbeschichtungen bei Drehtischen entscheidend sind (Vorher → Nachher)

  • Standardoberfläche → EUV-taugliche Oberfläche
  • Reflektierend → Nicht reflektierend, minimiertes Streulicht
  • Standard-Gleitverhalten → Optimierte Reibwerte & reduzierter Verschleiß
  • Basisschutz → Erhöhte chemische & korrosive Beständigkeit
  • Standardausführung → Applikationsoptimierte Performance

Sonderoberflächen sind häufig erforderlich für UV / DUV / EUV-Anwendungen (Röntgen- oder Gamma-Anwendungen auf Anfrage).

Ja. Unsere Drehtische lassen sich modular mit linearen, XY- oder XYZ-Stages kombinieren und zu kompakten Mehrachssystemen (z. B. XYZ-R oder Theta-Z) aufbauen. Entsprechende mechanische Schnittstellen sind hierfür bereits vorgesehen.

Typische Konfigurationen


Vorteile der Kombination

  • Hohe Systemflexibilität
  • Modulare Erweiterbarkeit
  • Platzsparende Integration
  • Präzise Koordination von Rotation und Translation


Technische Voraussetzungen

  • Abgestimmte mechanische Schnittstellen (Bohrbild / Zentrierung)
  • Ausgelegte Tragfähigkeit des Drehtisches für zusätzliche Achsen (Fx, Fy, Fz)
  • Berücksichtigung von Massenträgheit und Schwerpunktlage
  • Synchronisierte Regelung aller Achsen

Wir beraten Sie gern – schnell und unverbindlich:

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Für Drehtische bietet Steinmeyer Standard-Motion-Controller, SPS-Integration sowie kundenspezifische Embedded-Lösungen. Die Steuerung kann – abhängig von Drehmoment, Dynamik und Einbausituation – extern im Schaltschrank oder vollständig integriert im Drehtischmodul realisiert werden.

Übersicht Motion Controller & Steuerungskonzepte


Systemarchitektur – optimiert für Rotationsachsen

Die Steuerungslösungen für Drehtische werden applikationsspezifisch ausgewählt und exakt auf Antriebskonzept (z. B. Torque-Direktantrieb oder Getriebeantrieb), Winkelmesssystem sowie Umgebungsbedingungen abgestimmt. Besonderes Augenmerk liegt auf Rundlaufgenauigkeit, Synchronisation und thermischer Stabilität.


Standard-Motion-Controller

  • Für Einzel-Drehtische oder rotative Mehrachssysteme (z. B. XYZ-R)
  • Parametrierbare Regelkreise (Position / Drehzahl / Drehmoment)
  • Hochauflösende Winkelrückführung
  • Feldbus-Schnittstellen (z. B. EtherCAT, PROFINET)
  • Schnelle Inbetriebnahme und Feinabstimmung

Typische Anwendung: Präzisions-Drehtische mit Torque-Motor, Direktantrieb oder getriebebasierter Rotation.


SPS-Integration

  • Einbindung in bestehende Maschinen- oder Anlagensteuerungen
  • Übergeordnete Anlagenlogik über kundenseitige SPS
  • Synchronisation mit Linearachsen oder Gantry-Systemen
  • Standardisierte industrielle Kommunikationsprotokolle

Typische Anwendung: OEM-Anlagen, Inspektionssysteme, Halbleiter- oder Montageanlagen.


Kundenspezifische Embedded-Lösungen

  • Kompakte, applikationsoptimierte Controller für Drehtischmodule
  • Integrierte Leistungsendstufen für Torque- oder Servomotoren
  • Reduzierter Verkabelungsaufwand
  • Optimiert für Reinraum-, Vakuum- oder Hochdynamik-Anwendungen

Typische Anwendung: Hochintegrierte Rotationssysteme mit begrenztem Bauraum oder erhöhten Anforderungen an Dynamik und Präzision.


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