KT310-DC
Kreuztische

XY Positioniertisch (Spindelantrieb), Hub 200 x 200 mm, Repro ± 0.7 µm, Last 11 kg, Speed 60 mm/s

Universell einsetzbarer Kreuztisch

Der Kreuztisch mit 200 mm Verfahrweg in X- und Y-Richtung ist universell einsetzbar, insbesondere für Aufgaben in der Prüf- und Messtechnik. Sein Konzept mit innen liegenden Motoren, Kreuzrollenführungen und hochpräzisen Kugelgewindetrieben ermöglicht hervorragende Präzision bei optimaler Nutzung des Bauraums.

Speziell für Inspektionsaufgaben

Ideal für hochpräzise Inspektionssysteme und Mikroskopie

Hochpräzise Wiederholgenauigkeit bis zu 0.7 µm

Leicht kombinierbar für Mehrachsanwendungen

Optionen:

Erhältlich mit DC-Motor oder Schrittmotor
Verschiedene, hochauflösende Messsysteme
Ausführung für Reinraum und Vakuum auf Anfrage

Anwendungsfelder

Hochauflösende Mikroskopie, Automatisch optische Inspektion (AOI), Inspektionssysteme für Reinraum, Wafer Inspektion

Spezifikationen

Modell KT310		-200-DC-R	-200-DC-L
Verfahrweg	[mm]	200	200
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 2.5	± 0.7
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 4.5	± 1.2
Positioniergenauigkeit	[µm]	± 13.7	± 3
Ebenheitsabweichung	[µm]	± 4	± 4
Geradheitsabweichung	[µm]	± 3	± 3
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	30	30
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	60	60
Max. Beschleunigung	[m/s²]	0.5	0.5
Max. Last Fx	[N]	45	45
Max. Last Fy	[N]	45	45
Max. Last Fz	[N]	110	110
Max. Lastmoment Mx	[Nm]	5.3	5.3
Max. Lastmoment My	[Nm]	5.3	5.3
Max. Lastmoment Mz	[Nm]	5.1	5.1
Nicken	[µrad]	± 140	± 140
Gieren	[µrad]	± 70	± 70
Gewicht	[kg]	18	18
Länge	[mm]	310	310
Breite	[mm]	310	310
Höhe	[mm]	80	80
Motor		DC-Motor	DC-Motor
Feedback		Motor-Encoder	Linearmesssystem

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.