KDT180-DC
Kreuztische
XY Scanning-Stage (Spindelantrieb), Hub 50 x 50 mm, Apertur 90 mm, Repro ± 1.1 µm, Last 5 kg, Speed 5 mm/s
Symmetrischer XY-Durchlicht-Tisch in Plattenarchitektur
Der KDT180 ist ein universell einsetzbarer Kreuztisch, der mit seiner extrem flachen Bauform und der großen Apertur von 90 x 90 mm überzeugt. Das Durchlicht ermöglicht Differenzmessung unter Ausschluss der Restfehler des Tisches oder auch Durchlichtmessungen. Damit ist dieser Tisch insbesondere für die Messtechnik und Optikanwendungen geeignet.
Kompakt und flach mit großem Durchlicht
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Anwendungsfelder
Anwendungen in der Mikroskopie, Messtechnik, Optik, 3D-Imaging, Autofokus-Systeme, Elektronikmontage, Optikpositionierung, Probenpositionierung, Halbleiterinspektion, Messanlagen, Messgeräte
| Modell KDT180 | -50-DC-R | |
| Verfahrweg | [mm] | 50 |
| Wiederholgenauigkeit unidirektional | [μm] | ± 1.1 |
| Wiederholgenauigkeit bidirektional | [μm] | ± 2.1 |
| Positioniergenauigkeit | [μm] | ± 13.1 |
| Ebenheitsabweichung | [μm] | ± 4.8 |
| Geradheitsabweichung | [μm] | ± 3.6 |
| Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 2.5 |
| Spitzengeschwindigkeit | [mm/s] | 5 |
| Max. Beschleunigung | [m/s2] | 0.05 |
| Max. Last Fx | [N] | 45 |
| Max. Last Fy | [N] | 45 |
| Max. Last Fz | [N] | 55 |
| Max. Lastmoment Mx | [Nm] | 0.9 |
| Max. Lastmoment My | [Nm] | 0.9 |
| Max. Lastmoment Mz | [Nm] | 0.7 |
| Nicken | [µrad] | ± 120 |
| Gieren | [µrad] | ± 75 |
| Gewicht | [kg] | 2.5 |
| Länge | [mm] | 180 |
| Breite | [mm] | 180 |
| Höhe | [mm] | 38 |
| Durchlicht | [mm] | 90 x 90 |
| Motor | DC-Motor | |
| Feedback | Motor-Encoder |
FMC400/450
Voll bahnfähiger Mehrachscontroller, einfaches Erstellen von eigenen Programmen.
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