DT155-NM
Drehtische

Hochauflösender Drehtisch (Piezo Motor), Hub n x 360°, Apertur ⌀ 78 mm, Repro ± 0.0015 °, Last 7 kg, Geschwindigkeit 120 °/s

Hochpräzise mit dynamischer Bildgebung

Kompakt und sehr flach (200 x 155 x 35 mm)

Wiederholgenauigkeit bis ± 0.0015 °

Großes Durchlicht von 78 mm

Optionen:

Ausführung für Reinraum, Vakuum und Strahlung
Kombinierbar mit der XY Aperture Stage KDT180-NM
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Anwendungsfelder

Hochpräzise und dynamische Mikroskopie z.B. Elektronenmikroskop, Ionen-Mikroskop, Rasterelektronenmikroskop, Waferhandling, Waferinspektion, Halbleiter Qualitätskontrolle, Halbleiterforschung

Spezifikationen

DT155		-1NM-W	-2NM-W	-3NM-W	-4NM-W
Anzahl an Motoren		ein Motor	zwei Motoren	drei Motoren	vier Motoren
Verfahrweg	[deg]	n x 360	n x 360	n x 360	n x 360
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[deg]	± 0.0015	± 0.0015	± 0.0015	± 0.0015
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[deg]	± 0.0027	± 0.0027	± 0.0027	± 0.0027
Positioniergenauigkeit	[deg]	± 0.0039	± 0.0039	± 0.0039	± 0.0039
Exzentrizität	[µm]	± 5	± 5	± 5	± 5
Taumel	[µrad]	± 90	± 90	± 90	± 90
Positioniergeschwindigkeit	[deg/s]	123	123	123	123
Max. Geschwindigkeit	[deg/s]	185	185	185	185
Max. Beschleunigung	[deg/s²]	2090	2090	2090	2090
Max. Last Fz	[N]	71	71	71	71
Max. Lastmoment Mx, My	[N]	5.0	5.0	5.0	5.0
Max. Lastmoment Mz	[N]	0.6	1.2	1.8	2.4
Länge	[mm]	200	200	200	200
Breite	[mm]	155	155	155	155
Höhe	[mm]	35	35	35	35
Drehteller Ø	[mm]	150	150	150	150
Apertur Ø	[mm]	78	78	78	78
Gewicht	[kg]	0.8	1.6	2.4	3.0
Lager		Dünnringlager
Motor		Nanomotion (Piezo)
Antrieb		Reibung, Ultraschall
Feedback		Winkelmesssystem
Oberfläche		Aluminium eloxiert, blank
Optionale Zusatzausstattung		kundenspezifsche Adapter oder Bohrungsraster, Kombination mit Standard XY-Kreuztischen, Linarachsen oder Hubtischen
Varianten Reinraum		bis Reinraumklasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		EUV, DEV, UV (Röntgen und Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetarm (magnetfrei auf Anfrage)
Varianten Vakuum		10^-8 mbar (höher auf Anfrage)

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.