DT155-LM
Drehtische
Hochauflösender Drehtisch (Piezo Motor), Hub n x 360°, Apertur ⌀ 78 mm, Repro ± 0.0015 °, Last 7 kg, Geschwindigkeit 120 °/s
Hochpräzise mit dynamischer Bildgebung
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Optionen:
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Anwendungsfelder
Hochpräzise und dynamische Mikroskopie z.B. Elektronenmikroskop, Ionen-Mikroskop, Rasterelektronenmikroskop, Waferhandling, Waferinspektion, Halbleiter Qualitätskontrolle, Halbleiterforschung
| DT155 | -1LM-W | -2LM-W | ||
| Anzahl an Motoren | ein Motor | zwei Motoren | ||
| Verfahrweg | [deg] | n x 360 | n x 360 | |
| Wiederholgenauigkeit unidirektional | [deg] | ± 0.0015 | ± 0.0015 | |
| Wiederholgenauigkeit bidirektional | [deg] | ± 0.0027 | ± 0.0027 | |
| Positioniergenauigkeit | [deg] | ± 0.0039 | ± 0.0039 | |
| Exzentrizität | [µm] | ± 5 | ± 5 | |
| Taumel | [µrad] | ± 90 | ± 90 | |
| Positioniergeschwindigkeit | [deg/s] | 123 | 123 | |
| Max. Geschwindigkeit | [deg/s] | 185 | 185 | |
| Max. Beschleunigung | [deg/s2] | 2090 | 2090 | |
| Max. Last Fz | [N] | 71 | 71 | |
| Max. Lastmoment Mx, My | [Nm] | 5.0 | 5.0 | |
| Max. Lastmoment Mz | [Nm] | 0.6 | 1.2 | |
| Länge | [mm] | 200 | 200 | |
| Breite | [mm] | 155 | 155 | |
| Höhe | [mm] | 35 | 35 | |
| Drehteller Ø | [mm] | 150 | 150 | |
| Apertur Ø | [mm] | 78 | 78 | |
| Gewicht | [kg] | 0.8 | 1.6 | |
| Lager | Dünnringlager | |||
| Motor | Nanomotion (Piezo) | |||
| Antrieb | Reibung, Ultraschall | |||
| Feedback | Winkelmesssystem | |||
| Oberfläche | Aluminium eloxiert, blank | |||
| Optionale Zusatzausstattung | kundenspezifsche Adapter oder Bohrungsraster, Kombination mit Standard XY-Kreuztischen, Linarachsen oder Hubtischen | |||
| Varianten Reinraum | bis Reinraumklasse ISO 4 (höher auf Anfrage) | |||
| Varianten Strahlung | EUV, DEV, UV (Röntgen und Gamma auf Anfrage) | |||
| Varianten Magnetismus | magnetarm (magnetfrei auf Anfrage) | |||
| Varianten Vakuum | 10-8 mbar (höher auf Anfrage) | |||
Verwandte Produkte
Nahezu alle hier dargestellten atmosphärischen Standard-Drehtische sind optional uneloxiert und mit UHV-geeigneter Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar verfügbar. In dieser Ausführung erreichen sie mindestens Reinraumklasse ISO 6 – oder besser – und eignen sich damit auch für anspruchsvollere Umgebungen.
Für höhere Anforderungen stehen speziell ausgelegte Drehtisch-Varianten zur Verfügung, beispielsweise für Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlungsumgebungen.
Die Vakuum-Drehtische sind konstruktiv besonders auf hohe axiale und radiale Lasten ausgelegt. Verstärkte Lagerkonzepte, angepasste Werkstoffauswahl sowie vakuumgeeignete Schmier- und Beschichtungssysteme ermöglichen stabile Rotation auch bei hohen Nutzlasten und großen Massenträgheiten.
Übersicht Reinraum & Vakuum Drehtische Technischen Berater kontaktieren
Materialien für Drehtische
Steinmeyer Mechatronik verwendet für die Struktur von Drehtischen überwiegend Aluminium. Dieses Material bietet ein optimales Verhältnis aus Gewicht, Steifigkeit und thermischer Leitfähigkeit – entscheidend für präzise Rundlauf- und Wiederholgenauigkeit.
Aluminium leitet lokale Erwärmungen, beispielsweise durch Motorverluste oder Lagerreibung, effizient ab. Dadurch erreicht der Drehtisch schnell einen thermisch stabilen Zustand – eine wesentliche Voraussetzung für konstante Winkelgenauigkeit bei Dauerbetrieb oder Hochdynamik.
Die geringere Steifigkeit von Aluminium im Vergleich zu Stahl wird konstruktiv kompensiert, beispielsweise durch:
- Verstärkte Gehäuse- und Lagerstrukturen
- Optimierte Wandstärken und Bauhöhen
- Hohlprofilkonstruktionen mit hoher Torsionssteifigkeit
Für spezielle Anforderungen – etwa hohe Belastungen, vakuumtaugliche Ausführungen oder magnetfeldkritische Anwendungen – sind alternativ Stahl- oder Titan-Varianten möglich.
Funktionale Oberflächen und Beschichtungen für Drehtische
Neben Standardoberflächen stehen zahlreiche kundenspezifische Beschichtungs- und Oberflächenkonzepte zur Verfügung. Diese sind gezielt darauf ausgelegt, sehr hohe Reinraumklassen – bis ISO 1–2, abhängig von Anwendung und Prozess – zu erreichen.
Zur Erfüllung anspruchsvoller Prozessanforderungen entwickeln und qualifizieren wir applikationsspezifische Funktionsbeschichtungen, unter anderem:
- Nickel-Beschichtungen
- PTFE- & KEPLA®-Beschichtungen
- Fluorierte Schmierstoffe
- Dicronite® / Dry-Film-Beschichtungen
- Applikationsspezifische Beschichtungskombinationen
Darüber hinaus sind verfügbar:
- Eloxiert (gereinigt)
- Alternative Farb-Eloxale
- Aluminium blank, gereinigt
- Bilatal
- Nickel
Diese Oberflächen eignen sich insbesondere für:
- Hohe Reinheitsanforderungen im Reinraum
- Vakuumanwendungen
- Chemisch aggressive Umgebungen (z. B. Life Science)
- Optische Systeme mit Streulichtanforderungen
Warum Funktionsbeschichtungen bei Drehtischen entscheidend sind (Vorher → Nachher)
- Standardoberfläche → EUV-taugliche Oberfläche
- Reflektierend → Nicht reflektierend, minimiertes Streulicht
- Standard-Gleitverhalten → Optimierte Reibwerte & reduzierter Verschleiß
- Basisschutz → Erhöhte chemische & korrosive Beständigkeit
- Standardausführung → Applikationsoptimierte Performance
Sonderoberflächen sind häufig erforderlich für UV / DUV / EUV-Anwendungen (Röntgen- oder Gamma-Anwendungen auf Anfrage).
Ja. Unsere Drehtische lassen sich modular mit linearen, XY- oder XYZ-Stages kombinieren und zu kompakten Mehrachssystemen (z. B. XYZ-R oder Theta-Z) aufbauen. Entsprechende mechanische Schnittstellen sind hierfür bereits vorgesehen.
Typische Konfigurationen
- XY + R → Kompakte Rotations- und Positioniersysteme
- XYZ + R → 4-Achs-Positionierung
- Theta-Z → Kombinierte Rotations- und Hubbewegung
- Parallelkinematische Aufbauten → Für Active-Alignment-Anwendungen
Vorteile der Kombination
- Hohe Systemflexibilität
- Modulare Erweiterbarkeit
- Platzsparende Integration
- Präzise Koordination von Rotation und Translation
Technische Voraussetzungen
- Abgestimmte mechanische Schnittstellen (Bohrbild / Zentrierung)
- Ausgelegte Tragfähigkeit des Drehtisches für zusätzliche Achsen (Fx, Fy, Fz)
- Berücksichtigung von Massenträgheit und Schwerpunktlage
- Synchronisierte Regelung aller Achsen
Wir beraten Sie gern – schnell und unverbindlich:
Für Drehtische bietet Steinmeyer Standard-Motion-Controller, SPS-Integration sowie kundenspezifische Embedded-Lösungen. Die Steuerung kann – abhängig von Drehmoment, Dynamik und Einbausituation – extern im Schaltschrank oder vollständig integriert im Drehtischmodul realisiert werden.
Übersicht Motion Controller & Steuerungskonzepte
Systemarchitektur – optimiert für Rotationsachsen
Die Steuerungslösungen für Drehtische werden applikationsspezifisch ausgewählt und exakt auf Antriebskonzept (z. B. Torque-Direktantrieb oder Getriebeantrieb), Winkelmesssystem sowie Umgebungsbedingungen abgestimmt. Besonderes Augenmerk liegt auf Rundlaufgenauigkeit, Synchronisation und thermischer Stabilität.
Standard-Motion-Controller
- Für Einzel-Drehtische oder rotative Mehrachssysteme (z. B. XYZ-R)
- Parametrierbare Regelkreise (Position / Drehzahl / Drehmoment)
- Hochauflösende Winkelrückführung
- Feldbus-Schnittstellen (z. B. EtherCAT, PROFINET)
- Schnelle Inbetriebnahme und Feinabstimmung
Typische Anwendung: Präzisions-Drehtische mit Torque-Motor, Direktantrieb oder getriebebasierter Rotation.
SPS-Integration
- Einbindung in bestehende Maschinen- oder Anlagensteuerungen
- Übergeordnete Anlagenlogik über kundenseitige SPS
- Synchronisation mit Linearachsen oder Gantry-Systemen
- Standardisierte industrielle Kommunikationsprotokolle
Typische Anwendung: OEM-Anlagen, Inspektionssysteme, Halbleiter- oder Montageanlagen.
Kundenspezifische Embedded-Lösungen
- Kompakte, applikationsoptimierte Controller für Drehtischmodule
- Integrierte Leistungsendstufen für Torque- oder Servomotoren
- Reduzierter Verkabelungsaufwand
- Optimiert für Reinraum-, Vakuum- oder Hochdynamik-Anwendungen
Typische Anwendung: Hochintegrierte Rotationssysteme mit begrenztem Bauraum oder erhöhten Anforderungen an Dynamik und Präzision.
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