5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem, Tripod auf XY Apertur Stage | Hexapod Alternative | Hub XY 100 x 100 mm, Z 4 mm, Rx Ry 4°
XYZ Tip-Tilt System

228665 MP200-3+KDT 235

Tripod auf XY Stage mit Apertur

Dieser Aligner ist mit 5 Freiheitsgraden konstruiert. Der Tripod besteht intern aus dem MP200-3 drei vertikal wirkenden Präzisionsachsen, die mittels Festkörpergelenken mit der beweglichen Lastplatte verbunden sind. Somit lässt sich die Lastplatte in zwei Achsen kippen und auch in der Höhe verstellen. Der Tripod ist auf Durchlicht-Scantisch KDT235 für eine zusätzliche XY-Bewegung aufgesetzt.

Ideal für die optische und aktive Ausrichtung

Ansteuerbarkeit: X,Y Richtung einzeln und Rx, Ry, Z parallel

Gutes Preis-Leistungs-Verhältnis und sehr hohe Lebensdauer

Optionen:

Drehung um die Hauptachse mit einem zusätzlichen Drehtisch
Verschiedene, hochauflösende Messsysteme
Erweiterte Verfahrwege in XY-Richtung
Ausführung für Reinraum bis ISO Klasse 4, Vakuum, Labor oder Produktion
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Anwendungsfelder

Optische & aktive Ausrichtung (optical & active alignment), Hochauflösende Anwendungen in der Mikroskopie, optische Inspektionssysteme, 3D-Imaging, Screening, Auflichtmessungen, Durchlichtmessung, Interferometrie, Messtechnik, Autofokus-Systeme, Biotechnologie, Halbleitertests

Spezifikationen

MP200-3 + KDT235 (228665)		X	Y	Z	Rx	Ry
Standard System		KDT235-SM	KDT235-SM	MT63-DC	MT63-DC	MT63-DC
Verfahrweg	[mm; deg]	50	50	4	3	3
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 1.6	± 1.6	± 0.5	± 0.00005	± 0.00005
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 2.1	± 2.1	± 2.5	± 0.00020	± 0.00020
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	10	10	1	0.8	0.8
Max. Geschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	20	20	1.8	1.5	1.5
Max. Last	[N]			20
Länge x Breite x Höhe	[mm]	235 x 235 x 170
Apertur	[mm]	Ø 45
Gewicht	[kg]	14
Antrieb		Kugelgewindetrieb	Kugelgewindetrieb	Gleitgewinde, Riemen	Gleitgewinde, Riemen	Gleitgewinde, Riemen
Spindel Typ		1214.20/1.8.88.138 P3P		M5x0,5	M5x0,5	M5x0,5
Steigung		1	1	0.5	0.5	0.5
Motor		Schrittmotor	Schrittmotor	DC-Motor	DC-Motor	DC-Motor
Feedback		Open Loop	Open Loop	Motor Encoder	Motor Encoder	Motor Encoder
Messsystem Auflösung		0.1 µm (optional bis zu 0.001 µm)
Material		Aluminium eloxiert
Optionale Zusatzausstattung		Drehtisch, Probenhalter, Motion Controller, Umhausung, Sicherheitskonzept und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgritter, Laserscanner, STO, SLS)
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch (magnetarm auf Anfrage)
Varianten Vakuum		bis 10E-6 mbar (höher auf Anfrage)

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Verwendete Standard Komponenten

KDT235-SM

XY Mikroskopie Stage (Spindelantrieb), Hub 50 x 50 mm, Apertur 100, Repro ± 1.6 µm, Last 8 kg, Speed 20 mm/s

MT63-DC

Lineartisch 63 x 63 x 26 mm, Hub bis 25 mm, Repro ± 0.8 µm, Last 1 kg, Speed 3.6 mm/s

KGT 1214

Zylindermutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung

GGT M4x1P0.5

Reinraum ISO3, bis 10E-11 mbar, Länge 112 mm, 0.1 mm Steigung, 0.002 kN Last

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MP70-3

Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Achskombinationen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Stages Technischen Berater kontaktieren

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Mehrachsigen Positioniersystemen, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genau Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Tische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch!
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.

Welche Oberflächen sind verfügbar?

Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.

Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:

Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
Piezomotoren wie Piezo-Legs^® oder Nanomotion^®.

Als Feedback-System werden in den meisten Mehrachs-Positioniersystemen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur^® bzw. Zeromet^® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.