Halbleiterinspektion | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor | Phi Zahnriemen, DC-Motor
Kombinationen aus Industrieachsen

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Das System besteht aus zwei Lineartischen PLT320 (X- und Y-Achse), einem Hubtisch HT160 (Z-Achse) und einem Drehtisch DT200 (Phi-Achse).

Beide Lineartische werden mit dynamischen Linearmotoren, Dreh- und Hubtisch mit DC-Motoren angetrieben.

Passende Controller

FMC 250/280

Mehrachscontroller mit erhöhtem Strom und Spannung für Punkt–zu-Punkt Positionierung.

FMC400/450

Voll bahnfähiger Mehrachscontroller, einfaches Erstellen von eigenen Programmen.

Verwendete Standard-Komponenten

DT200-DC

Drehtisch mit sehr flacher Bauform, somit vielseitig kombinierbar. Angetrieben mit einem DC-Motor.

HT160-DC

Hubtisch mit geringer Bauhöhe für vielseitigen Einsatz. Angetrieben durch einen DC-Motor.

HT160-SM

Hubtisch mit geringer Bauhöhe für vielseitigen Einsatz. Angetrieben durch einen Schrittmotor.

PLT320-AC

Schwerlast Lineartisch, 300 - 1000 mm Verfahrweg, 2 µm Wiederholgenauigkeit, 310 kg Last

PLT320-DLM

Schwerlast Lineartisch, 300 - 1500 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, 310 kg Last

PLT320-SM

Schwerlast Lineartisch, 300 - 1000 mm Verfahrweg, 3.9 µm Wiederholgenauigkeit, 310 kg Last

System konfigurieren

1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept
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4. [Verfahrweg]
5. [Last]
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