XY-Z-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kreuzrolle, Kugelgewindetrieb | Phi Zahnriemen, DC-Motor | Hub 450 x 350 x 16 mm x 45°
Kombinationen aus Industrieachsen

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XY-Z-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kreuzrolle, Kugelgewindetrieb | Phi Zahnriemen, DC-Motor | Hub 450 x 350 x 16 mm x 45° - Kombinationen aus Industrieachsen

 

Präzisise und hochdynamisch für Proben bis 150 mm / 6"

Das XYZ Phi Positioniersystem besteht aus zwei Lineartischen PLT320 (X- und Y-Achse), einem Hubtisch HT160 (Z-Achse) und einem Drehtisch DT200 (Phi-Achse) und ist geschlossen und partikelarm aufgebaut.

  • Ideal zum flexiblen Auf- und Ausbau von Reinraumanlagen
  • Hohe Genauigkeit bis 0.4 µm / 0.004°
  • Hohe Beschleunigungen und Geschwindigkeiten bis 1000 mm/s
  • Besonders geringe Wärmeentwicklung bei häufigen Start und Stop Phasen
  • Ausgelegt für den wartungsfreien 24/7 Betrieb in Reinraumumgebung

Optionen:

  • Verschiedene, hochauflösende Messsysteme
  • Anpassung an den Prozess: Verfahrwege, Adaptionsplatte, Chuck, Grundplatte, Gestell, Umhausung, Sicherheitskonzept
  • Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe

Anwendungsfelder

Partikelarme XYZ-R Linear-Hub-Dreh-Positionierung z.B. für Schneidsysteme, Inspektionssysteme, Halbleiterproduktion, Wafer Dicing & Scribing (Silicon, GaAs, InP, Silica, Glass etc.), Optik, Photonik, Lasertechnik

 

782300:145.26XYZRz
Standard SystemPLT320-DLM-LPLT320-DLM-LHT160-DC-RDT200-DC-R/W
Verfahrweg[mm; deg]4503501645
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm; deg]± 0.4± 0.4± 1.6± 0.004
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm; deg]± 0.5± 0.5± 2.6± 0.007
Positioniergeschwindigkeit[mm/s; deg/s]500500835
Max. Geschwindigkeit[mm/s; deg/s]100010001670
Max. Last[N]2502504568
Gewicht[kg]125
Länge x Breite x Höhe[mm]960 x 860 x 335
Apertur Durchmesser[mm]66
Max. Durchmesser der Probe150 mm / 6" (optional größer als Sonderausführung)
Spindel Typ   1214.564/1.8.88.124 T5
Spindel Steigung  1 
Führung ProfilschieneProfilschieneKreuzrolleZahnriemen
Motor Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)DC MotorDC Motor
Feedback LinearmesssystemLinearmesssystemMotor-EncoderMotor-Encoder
Messsystem Auflösungen0,1 µm, optional bis zu 0,001 µm0,1 µm, optional bis zu 0,001 µm0,042 µm, optional bis zu 0,001 µm0,1 µm, optional bis zu 0,001 µm
ZusatzausstattungAdaptionsplatte, Chuck, Grundplatte (Granit / Aluminium), Gestell, Umhausung, Sicherheitskonzept und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgitter, Laserscanner, STO, SLS)
Reinraum Variantenbis Reinraum Klasse ISO 6 (auf Anfrage)
Strahlung VariantenUV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus magnetisch

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.


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