XY-Phi Positioniersystem (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Phi DC-Motor | Hub 200 x 250 mm x 360°
Kombinationen aus Industrieachsen
782300:097.26
Hochgenaue Positionierung für Proben bis 150 mm / 6"
Das System besteht aus zwei Lineartischen PLT240 (X- und Y-Achse) und einem Drehisch DT58 (Phi-Achse). Beide Lineartische werden mit dynamischen Linearmotoren, der Drehtisch mit einem DC-Motor angetrieben.
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Optionen:
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Individuelle Erweiterungen und Anpassungen
Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die anwendungsspezifische Positionieraufgabe.
Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests
Anwendungsfelder
Partikelarme Linear-Dreh-Positionierung z.B. für Schneidsysteme, Inspektionssysteme, Halbleiterproduktion, Wafer Dicing & Scribing (Silicon, GaAs, InP, Silica, Glass etc.), Optik, Photonik, Lasertechnik
| 782300:097.26 | X | Y | Rz | |
| Standard System | PLT240-200-DLM | PLT240-250-DLM | DT58-DC-R | |
| Verfahrweg | [mm; deg] | 200 | 250 | n x 360 |
| Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm; deg] | ± 0.4 | ± 0.4 | ± 0.004 |
| Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm; deg] | ± 0.5 | ± 0.5 | ± 0.007 |
| Positioniergeschwindigkeit | [mm/s; deg/s] | 530 | 530 | 100 |
| Max. Geschwindigkeit | [mm/s; deg/s] | 1060 | 1060 | 150 |
| Max. Last | [N] | 150 | 150 | 150 |
| Gewicht | [kg] | 60 | ||
| Länge x Breite x Höhe | [mm] | 600 x 650 x 225 | ||
| Max. Durchmesser der Probe | 150 mm / 6" (optional größer als Sonderausführung) | |||
| Führung | Profilschiene | Profilschiene | ||
| Motor | Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet) | Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet) | DC Motor | |
| Feedback | Linearmesssystem | Linearmesssystem | Motor-Encoder | |
| Optionale Zusatzausstattung | Z-Achse (z.B. PMT240) mit Traverse, Linearmotor mit Temperatur-Überwachung, Winkelmesssystem, Adaptionsplatte, Chuck, Grundplatte (Granit / Aluminium), Gestell, Umhausung, Sicherheitskonzept und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgitter, Laserscanner, STO, SLS) | |||
| Reinraum Varianten | bis Reinraum Klasse ISO 6 (auf Anfrage) | |||
| Strahlung Varianten | UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage) | |||
| Varianten Magnetismus | magnetisch | |||
Verwendete Standard Komponenten
PLT240-DLM
DT130-DC
