XY-Phi Positioniersystem (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Phi DC-Motor | Hub 200 x 250 mm x 360°
Kombinationen aus Industrieachsen

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XY-Phi Positioniersystem (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Phi DC-Motor | Hub 200 x 250 mm x 360° - Kombinationen aus Industrieachsen

 

Hochgenaue Positionierung für Proben bis 150 mm / 6"

Das System besteht aus zwei Lineartischen PLT240 (X- und Y-Achse) und einem Drehisch DT58 (Phi-Achse). Beide Lineartische werden mit dynamischen Linearmotoren, der Drehtisch mit einem DC-Motor angetrieben.

  • Ideal zum flexiblen Auf- und Ausbau von Reinraumanlagen
  • Hohe Genauigkeit bis 0.4 µm / 0.004°
  • Hohe Beschleunigungen und Geschwindigkeiten bis 1000 mm/s
  • Besonders geringe Wärmeentwicklung bei häufigen Start und Stop Phasen
  • Ausgelegt für den wartungsfreien 24/7 Betrieb in Reinraumumgebung

Optionen:

  • Verschiedene, hochauflösende Messsysteme
  • Aufbau mit Z-Achse, Traverse, Gestell und Umhausung
  • Linearmotor mit Temperaturüberwachung
  • Anpassung an den Prozess: Verfahrwege, Adaptionsplatte, Chuck, Grundplatte, Gestell, Umhausung, Sicherheitskonzept
  • Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die anwendungsspezifische Positionieraufgabe.

Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests
 

Anwendungsfelder

Partikelarme Linear-Dreh-Positionierung z.B. für Schneidsysteme, Inspektionssysteme, Halbleiterproduktion, Wafer Dicing & Scribing (Silicon, GaAs, InP, Silica, Glass etc.), Optik, Photonik, Lasertechnik

 

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Standard System PLT240-200-DLMPLT240-250-DLMDT58-DC-R
Verfahrweg[mm; deg]200250n x 360
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm; deg]± 0.4± 0.4± 0.004
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm; deg]± 0.5± 0.5± 0.007
Positioniergeschwindigkeit[mm/s; deg/s]530530100
Max. Geschwindigkeit[mm/s; deg/s]10601060150
Max. Last[N]150150150
Gewicht[kg]60
Länge x Breite x Höhe[mm]600 x 650 x 225
Max. Durchmesser der Probe 150 mm / 6" (optional größer als Sonderausführung)
Führung ProfilschieneProfilschiene 
Motor Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)DC Motor
Feedback LinearmesssystemLinearmesssystemMotor-Encoder
Zusatzausstattung Z-Achse (z.B. PMT240) mit Traverse, Linearmotor mit Temperatur-Überwachung, Winkelmesssystem, Adaptionsplatte, Chuck, Grundplatte (Granit / Aluminium), Gestell, Umhausung, Sicherheitskonzept und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgitter, Laserscanner, STO, SLS)
Reinraum Varianten bis Reinraum Klasse ISO 6 (auf Anfrage)
Strahlung Varianten UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus  magnetisch

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.


Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

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