3LT300
Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme

782475:003.26

 

XYZ-Manipulator

Dieser 3-Achs-Manipulator ist für das Ultrahochvakuum konzipiert. Er verfügt über Verfahrwege von 100 x 10 x 10 mm. Das System weist folgende Eigenschaften auf: trockenlaufend für höchsten Vakuumanspruch, hohe Ausheiztemperatur und extrem stabiler Aufbau. Zur Stabiliserung des Systems werden zusätzliche Piezobremsen verwendet.

 


Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Noch mehr Achsen für Ihre Vakuumanwendungen?

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

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