Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
In unserem Repertoire finden Sie komplexe EUV Halbleitersysteme, Experimentalsysteme und Kombinationen von Standardachsen als Mehrachsmanipulatoren. Die hier gezeigten Systeme stehen als Beispiele für denkbare Kombinationen unserer Reinraum- und Vakuumsysteme.
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Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!
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