Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme

In unserem Repertoire finden Sie komplexe EUV Halbleitersysteme, Experimentalsysteme und Kombinationen von Standardachsen als Mehrachsmanipulatoren. Die hier gezeigten Systeme stehen als Beispiele für denkbare Kombinationen unserer Reinraum- und Vakuumsysteme.


Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Noch mehr Achsen für Ihre Vakuumanwendungen?

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

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