KLT310
Vakuum / Reinraum Kreuztische

782330:178.26

Schwerlast XY Stage

HV, DUV, Reinraum ISO 6, Hub 100 x 100 mm, Repro bis 0.7 µm, Speed 20 mm/s, Last bis 28 kg

Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)

Vakuum: alle Bereiche HV bis 10^-7 mbar

Schmierung: flüssig bis 10^-7 mbar

Max. Ausheiztemperatur: 100°C

Durchlicht in Y 150 x 150 mm

Optional konfigurierbar:

Mit und ohne Messsystem
Kombinierbar mit Drehtischen (z.B. DT155) für rotatorische Anwendungen
Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Schmierung
Optional mit Controller FMC400/450
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Ideal für anspruchsvolle Inspektionsprozesse

Der Kreuztisch kombiniert zwei hochpräzise Spindelachsen und erreicht damit gute Genauigkeitswerte. Mit seinem robusten Aufbau und einem Verfahrweg von 100 mm in X- und Y-Richtung ermöglicht der KLT310 die hochgenaue Positionierung auch von hohen Lasten. Der KLT310 entspricht mit seinen Ablaufwerten ist er ideal für hochpräzise Inspektionsprozesse.

Er lässt sich einfach mit dem Drehtisch DT155 kombinieren, woraus sich vielfältige Anwendungen ergeben.

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Biochips, Wafer Inspektion, Waferjustage, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron

Spezifikationen

KLT310		-100-SM	-100-SM-L
Standard System		LT310	LT310
Verfahrweg	[mm]	100 x 100	100 x 100
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 1.6	± 0.7
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 2.1	± 0.5
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	10	10
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	20	20
Max. Last Fx	[N]	45	45
Max. Last Fy	[N]	45	45
Max. Last Fz	[N]	280	280
Länge	[mm]	310	310
Breite	[mm]	310	310
Höhe	[mm]	100	100
Apertur Y	[mm]	150 x 150
Gewicht	[kg]	15
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-7
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	100
Antrieb		Kugelgewindetrieb 1214.545/1.8.138.188 R (T3) Nr. 176843
Spindelsteigung		1
Führung		Profilschiene
Motor		Schrittmotor
Feedback		Open Loop	Linearmesssystem
Messsystem Auflösung		ohne	0.05 µm, optional bis zu 0.001 µm
Optionale Zusatzausstattung		Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung, verschiedene Motorvarianten, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10E^-7 mbar HV

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.