KDT70-PM
Vakuum / Reinraum Kreuztische

782440:006.24, 782440:011.26

Nichtmagnetische Titan-XY-Stage

UHV / DUV / EUV, ISO 6, Hub 10 x 10 mm, Repro 0.3 µm, Last 0.3 kg, Speed 10 mm/s

Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)

Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10^-11 mbar

Schmierung flüssig bis 10^-8 / trocken bis 10^-11 mbar

Max. Ausheiztemperatur: 120°C

Extrem stabil und magnetfrei

Besonders temperatur- und korrosionsbeständig durch Titan-Oberfächen

Optional:

Mit und ohne Durchlicht
Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung
Kombinierbar zum XYZ Positioniersystem
Optional mit Controller FMC400/450
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung für Laboranwendungen, membranintegrierte Mikrofluidik, Organ-on-a-Chip-Anwendungen, Aufnahme, Fixierung, Justage, Montage von Multiwell-Platten und Membranchips, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Biochips

Spezifikationen

KDT70		-10-PM
Verfahrweg	[mm]	10 x 10
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 0.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 0.4
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	5
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	10
Max. Last Fx	[N]	5
Max. Last Fy	[N]	5
Max. Last Fz	[N]	30
Länge	[mm]	83
Breite	[mm]	83
Höhe	[mm]	25
Apertur	[mm]	Ø 30
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-8
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-11
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	120
Motor		Piezo Motor
Führung		Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik
Feedback		Linearmesssystem
Messystem Auflösung		0.1 µm, optional 0.001 µm / ohne Messsystem
Material		Titan, Aluminium
Optionale Zusatzausstattung		kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch, magnetarm, magnetfrei
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.