KDT300-SM
Vakuum / Reinraum Kreuztische

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KDT300-SM - Vakuum / Reinraum Kreuztische

 

Schwerlast XY Apertur Stage

HV 10E-9 mbar, DUV / EUV, ISO 4 | Hub 10 – 100 mm | Repro 0.7 µm | Last 30 kg | Speed 10 mm/s

  • Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10-9 mbar
  • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-9 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
  • Durchlicht: 80 x 80 mm
Optional konfigurierbar:
  • Mit und ohne Apertur
  • Wahlweise mit Gleitgewindetrieb oder geschmierten Kugelgewindetrieb für höhere Geschwindigkeiten
  • Kombinierbar mit Drehtischen (z.B. DT155) für rotatorische Anwendungen
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Schmierung
  • Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion
  • Optional mit Controller FMC400/450

Höchste Stabilität im Nanometerbereich, auch im Trockenlauf

Das Positioniersystem mit Durchlichtöffnung wurde aus zwei Lineartischen LT300 zu einem präzisen und hochbelastbaren Kreuztisch für Anwendungen im Hochvakuum, Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung kombiniert.

Das System läuft vollkommen schmierstofffrei. Sein Konzept aus Kreuzrollenführungen und Gleitgewindetrieb ermöglicht enorm hohe Stabilität im Nanometerbereich. Optional kann dieses System mit geschmierten Kugelgewindetrieb für höhere Geschwindigkeiten ausgelegt werden.
 

Referenzen

OMNY—A tOMography Nano crYo stage | Review of Scientific Instruments 89, 043706 (2018) | https://pubs.aip.org/aip/rsi/article/89/4/043706/362160/OMNY-A-tOMography-Nano-crYo-stage
 

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung für große Lasten, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Biochips, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron

 

KDT300   -10-SM -10-SM-L -50-SM -50-SM-L -100-SM -100-SM-L
Standard System   LT300 LT300 LT300 LT300 LT300 LT300
Verfahrweg [mm]  10 x 10 10 x 10 50 x 50 50 x 50 100 x 100 100 x 100
Wiederholgenauigkeit unidirektional [µm] ± 2.8 ± 0.7 ± 2.9 ± 0.4 ± 2.9 ± 0.4
Wiederholgenauigkeit bidirektional [µm] ± 4 ± 0.5 ± 4 ± 0.5 ± 4 ± 0.5
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 5 5 5 5 5 5
Max. Geschwindigkeit [mm/s] 10 10 10 10 10 10
Max. Last Fx [N] 44 44 44 44 44 44
Max. Last Fy [N] 44 44 44 44 44 44
Max. Last Fz [N] 120 120 120 120 120 120
Länge [mm] 370 370 360 360 340 340
Breite [mm] 330 330 300 300 300 300
Höhe [mm] 120 120 120 120 120 120
Apertur [mm] 80 x 80
Schmierung flüssig [mbar] bis 10-8
Schmierung trocken [mbar] bis 10-9
Max. Ausheiztemperatur [deg] 120
Motor   Schrittmotor
Führung   Kreuzrolle Edelstahl, hybrid
Feedback   Open Loop Linearmesssystem Open Loop Linearmesssystem Open Loop Linearmesssystem
Auflösung Messsystem     0.1 µm   0.1 µm   0.1 µm
Optionale Zusatzausstattung   Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum    bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung    UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus    magnetisch
Varianten Vakuum    alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

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Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

Übersicht Standard-Stages     Technischen Berater kontaktieren

Nur bestimmte Materialien, Komponenten und Schmierstoffe genügen den Anforderungen an niedriges Ausgasen. Oft ist die Verwendung flüssiger Schmierstoffe nicht möglich. Auch stellt der Ausbackprozess eine hohe Belastung für das Positioniersystem dar, die auftretenden thermischen Spannungen bei Temperaturen bis 140°C müssen beachtet werden. Alle Fertigungsteile werden vakuumgerecht konstruiert und nach der Fertigung gesondert gereinigt. Die Montage erfolgt im Reinraum. Für Systeme mit Magnetfreiheit schränkt sich die Materialauswahl noch wesentlich weiter ein.

Sowohl für UHV-Systeme für höchsten Anspruch als auch für magnetfreie Baugruppen halten wir eine Vielzahl von Lösungen bereit. 

Die kundenspezifische Anpassung unserer Positioniersysteme an bestehende Kammern oder Setups erfolgt in mehreren strukturierten Schritten. Ziel ist eine nahtlose Integration bei maximaler Präzision, Reinraum- bzw. Vakuumtauglichkeit und Betriebssicherheit.

Typischerweise umfasst der Anpassungsprozess:

  • Analyse der Einbausituation (Bauraum, Schnittstellen, Lasten, Bewegungsfreiheiten, Umgebungsbedingungen)
  • Abstimmung auf die Applikation hinsichtlich Vakuum-, Reinraum-, Magnetismus- oder Strahlungsanforderungen
  • Mechanische Anpassungen wie kundenspezifische Adapter, Grundplatten, Bohrbilder oder Bauhöhen
  • Anpassung von Antriebs-, Mess- und Kabelkonzepten inkl. Steckerführung, Durchführungen und Kabelführung
  • Material- und Schmierstoffauswahl abgestimmt auf Ausgasung, Partikelanforderungen und Bake-out


Die Auslegung erfolgt mittels 3D-Konstruktion und Simulation, auf Wunsch ergänzt durch Prototypen, Funktionstests sowie Reinraum- oder Vakuumvorbereitung. So stellen wir sicher, dass das System optimal in das bestehende Setup integriert werden kann – ohne Kompromisse bei Präzision oder Prozessstabilität.

Unsere Positioniersysteme sind für unterschiedliche Reinraumklassen gemäß ISO 14644-1 ausgelegt und können an die jeweilige Anwendung angepasst werden. Standardmäßig realisieren wir Systeme für ISO 6 bis ISO 4. Für besonders anspruchsvolle kundenspezifische Anwendungen sind – abhängig von Systemkonzept, Bewegung, Materialien und Schmierung – auch Reinraumklassen bis ISO 2 - 1 möglich.

Die erreichbare Reinraumklasse hängt dabei unter anderem ab von:

  • der gewählten Mechanik und Lagerung
  • den eingesetzten Antriebs- und Messsystemen
  • Materialien, Oberflächenbehandlungen und Schmierstoffen
  • Bewegungsprofilen und Betriebsbedingungen z.B. Einhausung, Absaugung
  • Mehrstufige Reinigungsprozesse, Handling & Kommissionierung

Alle Reinraumsysteme werden entsprechend vorbereitet, montiert und endgereinigt im Reinraum. Auf Anfrage entwickeln wir kundenspezifische Lösungen, die exakt auf die geforderte Reinraumklasse und Anwendung abgestimmt sind.

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Für Systeme mit Schritt- oder Piezo Motor bieten wir Vakuum-Präparation:

  • Alle Teile vakuumgereinigt
  • Flüssigschmierung mit UHV-Öl für Drücke bis 10-6 mbar
  • Maximale Ausheiztemperatur 80 °C
  • Ausgerüstet mit Phytron-Schrittmotoren
  • Edelstahlkomponenten (Kugelgewindetrieb, Führungen, Lager, Schrauben)
  • Kapton- oder PTFE-Verkabelung
  • Kapton- oder Keramik-Sub-D-Stecker
  • Unbehandelte Aluminiumoberflächen
  • Bohrungen und Kavitäten mit Lüftungslöchern, entlüftete Schrauben oder geschlitzte Scheiben
  • Ohne Abdeckungen
  • Montiert in unserem Reinraum
  • Endgereinigt
  • Lieferung in evakuierter, doppelter Kunststoffverpackung

Klicken Sie hier für mehr Systeme:
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Elger Matthes
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