KDT120
Vakuum / Reinraum Kreuztische

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KDT120 - Vakuum / Reinraum Kreuztische

 

Hochauflösender Titan-XY-Kreuztisch

UHV. DUV / EUV, ISO 4, Hub 24 x 24 mm, Repro 0.03 µm, Last 0.5 kg, Speed 3 mm/s

  • Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-11 mbar
  • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
  • Sehr hohe Wiederholbarkeit bis 50 Nanometer
  • Besonders temperatur- und korrosionsbeständig durch Titan-Oberfächen
Optional:
  • Mit und ohne Durchlicht
  • Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung
  • Kombinierbar zum XYZ Positioniersystem
  • Optional mit Controller FMC400/450
  • Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung für Laboranwendungen, membranintegrierte Mikrofluidik, Organ-on-a-Chip-Anwendungen, Aufnahme, Fixierung, Justage, Montage von Multiwell-Platten und Membranchips, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Biochips

 

KDT120 -24-PM-L
Verfahrweg[mm] 24 x 24
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 0.03
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 0.05
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]2.5
Max. Geschwindigkeit[mm/s]3.75
Max. Last Fx[N]5
Max. Last Fy[N]5
Max. Last Fz[N]45
Länge[mm]155
Breite[mm]120
Höhe[mm]25
Aptertur[mm]62 x 62
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Schmierung trocken[mbar]bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur[deg]120
Motor Piezo Motor
Führung Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik
Feedback Linearmesssystem
Auflösung Messsystem 0.1 µm, optional bis zu 0.005 µm 
Optionale Zusatzausstattung kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum  bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung  UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus  magnetisch, magnetarm, magnetfrei
Varianten Vakuum  alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

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Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

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