KDT105
Vakuum / Reinraum Kreuztische

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KDT105 - Vakuum / Reinraum Kreuztische

 

Hochauflösender Kreuztisch

UHV 10E-11 mbar, EUV, ISO 4 | Hub 50 mm | Repro 0.3 µm | Last 3 kg | Apertur 40 mm | Speed 50 mm/s

  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-11 mbar
  • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
  • Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Optional konfigurierbar:
  • Mit und ohne Durchlicht
  • Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung
  • Verschiedene Motorvarianten: Nanomotion oder Piezo Motor
  • Kombinierbar zum XYZ Positioniersystem (z.B. MT105)
  • Kombinierbar mit Drehtischen (z.B. DT105) für rotatorische Anwendungen
  • Optional mit Controller FMC400/450

Flexibles XY-Durchlichtsystem

Der Kreuztisch mit Durchlichtöffnung und Kreuzrollenführungen bietet hohe Dynamik und Geschwindigkeit für Anwendungen im Hochvakuum, Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung. Gemessen an seiner Größe verfügt er über einen großen Verfahrweg. Ausgestattet mit einem Piezo Motor erreicht er kleinste Schritte im Nanometerbereich mit einer nahezu unerreichbaren Positionsstabilität. Mit einem Nanomotion erreicht er eine sehr hohe Dynamik sowie hohe Geschwindigkeiten und verfügt über eine maximale Lebensdauer mit einer Präzision im Mikrometerbereich. Er lässt sich einfach mit dem Hubtisch MT105 oder den Drehtisch DT105 kombinieren, woraus sich vielfältige Anwendungen ergeben.
 

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik,  Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Biochips, Wafer Inspektion, Waferjustage, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron

 

KDT105   -50-PM-L -50-LM-L
Verfahrweg [mm]  50 x 50 50 x 50
Wiederholgenauigkeit unidirektional [µm] ± 0.3 ± 0.5
Wiederholgenauigkeit bidirektional [µm] ± 0.4 ± 0.7
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 5 25
Max. Geschwindigkeit [mm/s] 10 50
Max. Last Fx [N] 5 4
Max. Last Fy [N] 5 4
Max. Last Fz [N] 45 45
Länge [mm] 150
Breite [mm] 150
Höhe [mm] 50
Apertur [mm] 40 x 40
Schmierung flüssig [mbar] bis 10-8
Schmierung trocken [mbar] bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur [deg] 120
Motor   Piezo Motor Nanomotion
Führung   Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik
Feedback   Linearmesssystem
Auflösung Messsystem   0.1 µm, optional 0.001 µm 
Optionale Zusatzausstattung   Mit oder ohne Apertur, Drehtisch DT105, Z-Achse HT160 / MT105, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum    bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung    UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus    magnetisch, magnetarm, magnetfrei
Varianten Vakuum    alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

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Noch mehr Achsen für Ihre Vakuumanwendungen?

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

Übersicht Standard-Stages     Technischen Berater kontaktieren

Nur bestimmte Materialien, Komponenten und Schmierstoffe genügen den Anforderungen an niedriges Ausgasen. Oft ist die Verwendung flüssiger Schmierstoffe nicht möglich. Auch stellt der Ausbackprozess eine hohe Belastung für das Positioniersystem dar, die auftretenden thermischen Spannungen bei Temperaturen bis 140°C müssen beachtet werden. Alle Fertigungsteile werden vakuumgerecht konstruiert und nach der Fertigung gesondert gereinigt. Die Montage erfolgt im Reinraum. Für Systeme mit Magnetfreiheit schränkt sich die Materialauswahl noch wesentlich weiter ein.

Sowohl für UHV-Systeme für höchsten Anspruch als auch für magnetfreie Baugruppen halten wir eine Vielzahl von Lösungen bereit. 

Die kundenspezifische Anpassung unserer Positioniersysteme an bestehende Kammern oder Setups erfolgt in mehreren strukturierten Schritten. Ziel ist eine nahtlose Integration bei maximaler Präzision, Reinraum- bzw. Vakuumtauglichkeit und Betriebssicherheit.

Typischerweise umfasst der Anpassungsprozess:

  • Analyse der Einbausituation (Bauraum, Schnittstellen, Lasten, Bewegungsfreiheiten, Umgebungsbedingungen)
  • Abstimmung auf die Applikation hinsichtlich Vakuum-, Reinraum-, Magnetismus- oder Strahlungsanforderungen
  • Mechanische Anpassungen wie kundenspezifische Adapter, Grundplatten, Bohrbilder oder Bauhöhen
  • Anpassung von Antriebs-, Mess- und Kabelkonzepten inkl. Steckerführung, Durchführungen und Kabelführung
  • Material- und Schmierstoffauswahl abgestimmt auf Ausgasung, Partikelanforderungen und Bake-out


Die Auslegung erfolgt mittels 3D-Konstruktion und Simulation, auf Wunsch ergänzt durch Prototypen, Funktionstests sowie Reinraum- oder Vakuumvorbereitung. So stellen wir sicher, dass das System optimal in das bestehende Setup integriert werden kann – ohne Kompromisse bei Präzision oder Prozessstabilität.

Unsere Positioniersysteme sind für unterschiedliche Reinraumklassen gemäß ISO 14644-1 ausgelegt und können an die jeweilige Anwendung angepasst werden. Standardmäßig realisieren wir Systeme für ISO 6 bis ISO 4. Für besonders anspruchsvolle kundenspezifische Anwendungen sind – abhängig von Systemkonzept, Bewegung, Materialien und Schmierung – auch Reinraumklassen bis ISO 2 - 1 möglich.

Die erreichbare Reinraumklasse hängt dabei unter anderem ab von:

  • der gewählten Mechanik und Lagerung
  • den eingesetzten Antriebs- und Messsystemen
  • Materialien, Oberflächenbehandlungen und Schmierstoffen
  • Bewegungsprofilen und Betriebsbedingungen z.B. Einhausung, Absaugung
  • Mehrstufige Reinigungsprozesse, Handling & Kommissionierung

Alle Reinraumsysteme werden entsprechend vorbereitet, montiert und endgereinigt im Reinraum. Auf Anfrage entwickeln wir kundenspezifische Lösungen, die exakt auf die geforderte Reinraumklasse und Anwendung abgestimmt sind.

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Für Systeme mit Schritt- oder Piezo Motor bieten wir Vakuum-Präparation:

  • Alle Teile vakuumgereinigt
  • Flüssigschmierung mit UHV-Öl für Drücke bis 10-6 mbar
  • Maximale Ausheiztemperatur 80 °C
  • Ausgerüstet mit Phytron-Schrittmotoren
  • Edelstahlkomponenten (Kugelgewindetrieb, Führungen, Lager, Schrauben)
  • Kapton- oder PTFE-Verkabelung
  • Kapton- oder Keramik-Sub-D-Stecker
  • Unbehandelte Aluminiumoberflächen
  • Bohrungen und Kavitäten mit Lüftungslöchern, entlüftete Schrauben oder geschlitzte Scheiben
  • Ohne Abdeckungen
  • Montiert in unserem Reinraum
  • Endgereinigt
  • Lieferung in evakuierter, doppelter Kunststoffverpackung

Klicken Sie hier für mehr Systeme:
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Elger Matthes
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