KDT105
Vakuum / Reinraum Kreuztische
782325:029.26
Hochauflösender Kreuztisch
HV / UHV / EUV, 50 mm Verfahrweg, 40 mm Apertur, 0.3 µm Wiederholgenauigkeit, 3 kg Last
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Optional konfigurierbar:
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Flexibles XY-Durchlichtsystem
Der Kreuztisch mit Durchlichtöffnung und Kreuzrollenführungen bietet hohe Dynamik und Geschwindigkeit für Anwendungen im Hochvakuum, Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung. Gemessen an seiner Größe verfügt er über einen großen Verfahrweg. Ausgestattet mit einem Piezo Motor erreicht er kleinste Schritte im Nanometerbereich mit einer nahezu unerreichbaren Positionsstabilität. Mit einem Nanomotion erreicht er eine sehr hohe Dynamik sowie hohe Geschwindigkeiten und verfügt über eine maximale Lebensdauer mit einer Präzision im Mikrometerbereich. Er lässt sich einfach mit dem Hubtisch MT105 oder den Drehtisch DT105 kombinieren, woraus sich vielfältige Anwendungen ergeben.
Anwendungsbereiche
Präzisionspositionierung für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Biochips, Wafer Inspektion, Waferjustage, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron
KDT105 | -50-PM-L | -50-LM-L | |
Verfahrweg | [mm] | 50 x 50 | 50 x 50 |
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm] | ± 0.3 | ± 0.5 |
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ± 0.4 | ± 0.7 |
Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 5 | 25 |
Max. Geschwindigkeit | [mm/s] | 10 | 50 |
Max. Last Fx | [N] | 5 | 4 |
Max. Last Fy | [N] | 5 | 4 |
Max. Last Fz | [N] | 45 | 45 |
Länge | [mm] | 150 | |
Breite | [mm] | 150 | |
Höhe | [mm] | 50 | |
Apertur | [mm] | 40 x 40 | |
Schmierung flüssig | [mbar] | bis 10-8 | |
Schmierung trocken | [mbar] | bis 10-11 | |
Max. Ausheiztemperatur | [deg] | 120 | |
Motor | Piezo Motor | Nanomotion | |
Führung | Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik | ||
Feedback | Linearmesssystem | ||
Auflösung Messsystem | 0.1 µm, optional 0.001 µm | ||
Optionale Zusatzausstattung | Mit oder ohne Apertur, Drehtisch DT105, Z-Achse HT160 / MT105, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker | ||
Varianten Reinraum | bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage) | ||
Varianten Strahlung | UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) | ||
Varianten Magnetismus | magnetisch, magnetarm, magnetfrei | ||
Varianten Vakuum | alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV |
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