Kundenspezifisch ausgelegt bis UHV · EUV · Reinraum ISO 2-1
Wo Reinraum, Vakuum und EUV-Technologie zusammentreffen, stoßen Standard-Positioniersysteme schnell an physikalische Grenzen. Unsere Lösungen sind exakt für diese Extrembedingungen ausgelegt – von HV bis UHV, von UV bis EUV, von ISO 6 bis ISO 1, von magnetarm bis nicht-magnetisch. Jedes System wird material-, tribologie- und thermisch optimiert entwickelt, gefertigt und im Reinraum montiert.
Die folgenden Systeme lassen sich flexibel an Anwendung, Umgebung und Prozess anpassen. Alternativ entwickeln wir die Lösung speziell für Ihren Prozess & verfügbaren Bauraum.
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Lineartische >
Modulare Lineartische | UHV, EUV, ISO 4 - 6 | Hub bis 850 mm, Repro bis 0.002 µm, Last bis 20 kg
XYZ Stapel >
XYZ Kompaktsysteme | UHV, EUV, ISO 4 - 6 | Hub bis 50 mm, Repro bis 0.2 µm, Last bis 1 kg
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XY Stages >
XY Kreuztische | UHV, EUV, ISO 4 - 6 | Hub bis 170 mm, Repro bis 0.003 µm, Last bis 30 kg
Mehrachssysteme >
XYZ-R+ Kombinationen | UHV, EUV, ISO 2 - 6 | komplexe Systeme z.B. harte Röntgenstrahlung, 1 Tesla, ...
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Drehtische >
Rotationstische | UHV, EUV, ISO 4 - 6 | Hub unbegrenzt, Repro bis 0.0002°, Last bis 15 kg
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Hubtische >
Vertikalachsen | UHV, EUV, ISO 4 - 6 | Hub bis 25 mm, Repro bis 0.3 µm, Last bis 40 kg
Noch mehr Achsen für Ihre Vakuumanwendungen?
Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!
Kundenspezifische Möglichkeiten für Reinraum- und Vakuumsysteme
Ihre konstruktiven Vorteile:
| Optional erweiterbar:
Kurz gesagt: Maßgeschneiderte, hochpräzise Positioniertechnik für extreme Umgebungen, in denen Standardlösungen an physikalische Grenzen stoßen. |
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Elger Matthes
Beratung, Konzepte, Innovation & Engineering
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