Lineartische

Je nach Applikation bieten wir Ihnen Lineartische mit einer Vielzahl an unterschiedlichen Antrieben und Führungen an. Innerhalb einer Serie lassen sich die modularen Lineartische einfach miteinander kombinieren.

Antriebsart
Messsystem

Schwerlast Lineartisch (Linearmotor), Hub 300 - 1500 mm, Repro ± 0.4 µm, Last 25 kg, Speed 2445…

Schwerlast Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 300 - 1000 mm, Repro ± 2 µm, Last 106 kg, Speed 260…

Schwerlast Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 300 - 1000 mm, Repro ± 3.9 µm, Last 94 kg, Speed 60…

High Performance Stage (Linearmotor), Hub 200 - 1000 mm, Repro 0.4 µm, Last 15 kg, Speed 1815 mm/s

High Performance Stage (Spindelantrieb), Hub 200 - 850 mm, Repro ± 0.4 µm, Last 64 kg, Speed 260…

Hochlast Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 200 - 850 mm, Repro ± 3.9 µm, Last 42 kg, Speed 60 mm/s

High Performance Stage (Linearmotor), Hub 200 - 750 mm, Repro ± 0.4 µm, Last 6 kg, Speed 1155 mm/s

Hochlast Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 100 -Hochlast Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 100 -…

Hochlast Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 100 - 500 mm, Repro ± 3.9 µm, Last 25 kg, Speed 80 mm/s

Präzisions-Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 50 - 300 mm, Repro ± 1.7 µm, Last 4,5 kg, Speed 60…

Präzisions-Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 50 - 300 mm, Repro ± 1.9 µm, Last 15 kg, Speed 20 mm/s

Hochpräziser Lineartisch (Linear Motor), Hub 50 - 260 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 1.4 kg, Speed 375…

Hochpräziser Lineartisch (Nanomotion), Hub 50 - 250 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 8 kg, Speed 75 mm/s

Präzisions-Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 50 - 300 mm, Repro ± 2.3 µm, Last 10 kg, Speed 40 mm/s

Kompakter Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 150 - 550 mm, Repro ± 6.5 µm, Last 13 kg, Speed 260…

Kompakter Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 150 - 550 mm, Repro ± 4.6 µm, Last 9,5 kg, Speed 60…

Kompakter Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 50 -250 mm, Repro ± 5.5 µm, Last 6,5 kg, Speed 200…

Kompakter Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 50 - 250 mm, Repro ± 4 µm, Last 7 kg, Speed 40 mm/s

Schmaler Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 50 - 150 mm, Repro ± 1.5 µm, Last 4.5 kg, Speed 60 mm/s

Schmaler Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 50 - 150 mm, Repro ± 2.3 µm, Last 4.5 kg, Speed 40 mm/s


Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Standardachsen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Linear Stages    Technischen Berater kontaktieren

Ja, Lineartische können auch als Hubtische (Z-Richtung) sowie gestapelt (XY-Bewegungen verwendet werden).

Wichtig dafür ist, dass die maximale Kraft in Antriebsrichtung nicht überschritten wird. Die Kraft für die vertikale Positionierung wird in der Spezifikation bei Linear Stages unter Fx angegeben.

 

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Linear Stages, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genaue Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Positioniertische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch! 
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.

Welche Oberflächen sind verfügbar?

Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.

Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:

  • Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
  • Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
  • Piezomotoren wie Piezo-Legs® oder Nanomotion®.

Als Feedback-System werden in den meisten Fällen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur® bzw. Zeromet® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.


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