2PLT165-DLM
Kreuztische

High Performance XY Stage (Linearmotor), Hub 500 x 400 mm, Repro ± 0.4 µm, Last 52 kg, Speed 870 mm/s
2PLT165-DLM

 

High Performance XY Stage

Das Antriebskonzept dieser Linartischkombination aus der PLT165-Serie basiert auf einem Linearmotor und ermöglicht dadurch hohe Beschleunigungen und Geschwindigkeiten. Damit eignet sich der präzise Kreuztisch ideal für hochdynamische Anwendungen mit hohen Lasten.

Gemacht für industrielle Anwendungen

Aus den Achsen PLT160-Serie lassen sich flexibel Verfahrwege von 200 - 750 mm mit unterschliedlichen Motorvarianten für Leicht- bis Schwerlastanwendungen kombinieren. Das geschützte Gehäuse und die Metallbandabdeckung gewährleisten Staub- und Partikelschutz in industriellen Umgebungen.

Vielfältige Anwendungsfelder

Zuverlässige 24/7 Positionierung unter stabilen Parametern, präzise Zustellung von Proben, Sensoren oder Optiken, Laserbearbeitung, Halbleitertechnik oder Messtechnik.

 

2PLT165   -500-DLM-L-400-DLM-L
Art. Nr.   782300:152.26
Verfahrweg [mm] 500 x 400
Wiederholgenauigkeit unidirektional [µm] ± 0.4
Wiederholgenauigkeit bidirektional [µm] ± 0.5
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 580
Max. Geschwindigkeit [mm/s] 870
Max. Beschleunigung [m/s2] 12
Max. Last Fx [N] 60
Max. Last Fy [N] 60
Max. Last Fz [N] 520
Länge [mm] 800
Breite [mm] 700
Höhe [mm] 145
Gewicht [kg] 45
Führung   Profilschiene
Motor   Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)
Feedback   Linearmesssystem
Messsystem Auflösungen   0,1 µm Standard, optional bis zu 0,001 µm
Material   Aluminium eloxiert
Optionale Zusatzausstattung   Grundplatte (Granit / Aluminium), Gehäuse, Vorbereitung für Sperrluft, Bremse, kundenspezifsche Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum    bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung    UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus    magnetisch
Varianten Vakuum    auf Anfrage

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

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Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Standardachsen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Linear Stages    Technischen Berater kontaktieren

Ja, Lineartische können auch als Hubtische (Z-Richtung) sowie gestapelt (XY-Bewegungen verwendet werden).

Wichtig dafür ist, dass die maximale Kraft in Antriebsrichtung nicht überschritten wird. Die Kraft für die vertikale Positionierung wird in der Spezifikation bei Linear Stages unter Fx angegeben.

 

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Linear Stages, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genaue Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Positioniertische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch! 
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.

Welche Oberflächen sind verfügbar?

Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.

Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:

  • Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
  • Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
  • Piezomotoren wie Piezo-Legs® oder Nanomotion®.

Als Feedback-System werden in den meisten Fällen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur® bzw. Zeromet® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.


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