MP105-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch (Reinraum ISO 4) | Hub 30 - 50 x 50 x 50 mm | Repro ±0.2 µm, Speed 75 mm/s
XYZ Positioniertische - kompakt gestapelt

782300:206.26

Miniaturisierter XYZ-Mikropositionierer

Der miniaturisierte XYZ-Mikropositionierer ist ein hochpräzises 3-Achssystem für lineare Bewegungen in X, Y und Z auf kleinstem Bauraum. Er wurde speziell für Active-Alignment-Prozesse und hochgenaue Justageaufgaben in Optik, Photonik und Halbleitertechnik entwickelt. Das System ermöglicht feinste Positionierbewegungen im Submikrometer- und Nanometerbereich und eignet sich ideal für präzise Ausricht- und Scanaufgaben.

Lineare Bewegungen in X, Y und Z für präzises Active Alignment

Verfahrwege von 20 - 50 mm je Achse bei kompakter Bauform (155 x 155 x 195 mm)

Wiederholgenauigkeit bis ± 0,2 µm (optional bis 0,005 µm)

Maximale Steifigkeit durch Kreuzrollenführung, optional Vollkeramik

Optionen:

Versionen für Vakuum (10E-11 mbar), Reinraum (ISO 4), Strahlung (EUV)
1 bis 3 große Motoren, je nach Anwendung
Motorvarianten: Piezomotor für höchste Auflösung oder Nanomotion für dynamische Anwendungen
Hochauflösende Messsysteme für Wiederholgenauigkeiten bis 0,005 µm
Kombinierbar mit Drehtischen für zusätzliche rotatorische Freiheitsgrade
Magnetische, magnetarme oder magnetfreie Ausführung
Kundenspezifische Entwicklung für die Gesamtapplikation

Anwendungsfelder

Active Alignment in der Optik- und Photonikfertigung, hochpräzise Positionierung in der Halbleitertechnik, Justage von Optiken, Lasern, Kameras und Sensoren, Wafer- und Substrat-Alignment, Mikroskopie unter Vakuum, EUV- und Beamline-Anwendungen, Materialanalyse und Materialforschung, Probenhandling und Probenscan, Forschung & Entwicklung, Miniaturisierung hochpräziser Positioniersysteme

Spezifikationen

MP105-3		-50/50/30-2PM-L	-50/50/50-PM-L	50/50/30-2LM-L	-50/50/50-LM-L	50/50/30-2XLM-L	50/50/30-XLM-L
Verfahrweg X	[mm]	50	50	50	50	50	50
Verfahrweg Y	[mm]	50	50	50	50	50	50
Verfahrweg Z	[mm]	30	50	30	50	30	50
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 0.2	± 0.2	± 0.4	± 0.4	± 0.4	± 0.4
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 0.3	± 0.3	± 0.5	± 0.5	± 0.5	± 0.5
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	5	5	50	50	50	50
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	7.5	7.5	75	75	75	75
Max. Last Fx	[N]	10	10	12	12	12	12
Max. Last Fy	[N]	10	10	12	12	12	12
Max. Last Fz	[N]	20	10	24	12	43	24
Anzahl der Motoren		2	1	2	1	2	1
Motor		Piezo Motor	Piezo Motor	Nanomotion
Feedback		Linearmesssystem
Auflösung Messsystem		0.1 µm, optional bis zu 0.005 µm oder ohne Messsystem
Führung		Kreuzrolle
Länge	[mm]	155
Breite	[mm]	155
Höhe	[mm]	195
Optionale Zusatzausstattung		Hochauflösende Messsysteme für Wiederholgenauigkeiten bis 0,005 µm, kombinierbar mit Rotationsachsen für zusätzliche rotatorische Freiheitsgrade, kundenspezifische Entwicklung für die Gesamtanwendung inklusive Gehäuse, Vorbereitung für Sperrluft, Bremse, kundenspezifische Adapter, Bohrungsraster, Kabel und Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Stahlung		UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch \| magnetarm \| magnetfrei
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV, UHV

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.