Nanomotion® Piezomotor
Dieser Piezomotor bietet eine sehr hohe Auflösung im Nanometerbereich.
Es lassen sich hohe Beschleunigungen und sehr große Geschwindigkeiten realisieren. Er hat jedoch nur eine geringe Steifigkeit. Im Gegensatz zum Piezo LEGS® Motor benötigt er ein Messsystem. Die Ansteuerung ist anspruchsvoll und verlangt nach speziellen Reglern. Einsatz findet dieser Motor verstärkt in Vakuumanwendungen. Im Parallelbetrieb lassen sich auch höhere Lasten gut positionieren.