LA80
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

782475:038.26, 782475:049.26
LA80 - Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

 

High Speed Stage

HV 10E-9 mbar, EUV, ISO 4 | Hub bis 500 mm | Repro 0.4 µm | Last 5 kg | Speed 100 mm/s

  • Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
  • Vakuum: UHV, Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-9 mbar
  • Lebensdauer im Kilometerbereich trotz Trockenschmierung
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
  • Verfügbar als magnetische Ausführung
Optional konfigurierbar:
  • Wahlweise mit und ohne Messsystem
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung
  • Kombinierbar zum schnellen XYZ Transfersystem (z.B. LA90, LA95, LA170)
  • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
  • Optional mit Controller FMC400/450

Hohe Lebensdauer trotz Trockenlauf

Diese Linearachse wird als leistungsfähige Komponente für Mehrachssysteme und für hochdynamische Transfersysteme eingesetzt. Sie ermöglicht eine schnelle Positionierung mit extrem hoher Auflösung im Ultrahochvakuum, auch in vertikaler Richtung. Ein Kugelgewindetrieb sorgt für eine hohe Steifigkeit und Stillstandsstabilität bei gleichzeitig hoher Geschwindigkeit. Das System kommt ohne flüssige Schmierstoffe aus und bietet dennoch eine Lebensdauer im Bereich von mehreren Kilometern.
 

Anwendungsbereiche

Hochpräzise Transfersysteme im Ultrahochvakuum unter extrem ultravioletter Strahlung, Halbleiterherstellung, Strahlformung für Belichtungsprozesse, Oberflächenanalyse und Sensorpositionierung, Massenspektrometrie, OLED Beschichtungsprozesse, Schichtdickenmessung und Schichtratenmessung, Oberflächenbeschichtung (Sputtern, Bedampfen), Strahlabgänge, Experimentalaufbauten, Sensor-Anordnungen für Untersuchungen von Proben nahe ihres nativen Zustands
 

Referenzen

OMNY—A tOMography Nano crYo stage | Review of Scientific Instruments 89, 043706 (2018) | https://doi.org/10.1063/1.5020247

 

LA80   -200-SM -200-SM-L -500-SM -500-SM-L
Verfahrweg [mm]  200 200 500 500
Wiederholgenauigkeit unidirektional [µm] ± 3 ± 0.3 ± 3 ± 0.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional [µm] ± 4 ± 0.5 ± 4 ± 0.5
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 50 50 50 50
Max. Geschwindigkeit [mm/s] 100 100 100 100
Max. Last Fx [N] 49 49 49 49
Max. Last Fy [N] 49 49 49 49
Max. Last Fz [N] 9 9 9 9
Länge [mm] 446 446 706 706
Breite [mm] 86 86 86 86
Höhe [mm] 61 61 51 51
Schmierung flüssig [mbar] bis 10-8
Schmierung trocken [mbar] bis 10-9
Max. Ausheiztemperatur [deg] 120
Motor   Schrittmotor
Führung   Edelstahl hybrid, Kugelumlaufführungen
Feedback   Open Loop  Linearmesssystem Open Loop Linearmesssystem
Auflösung Messsystem     0.5 µm   0.5 µm
Zusatzausstattung   Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum    bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung    UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus    magnetisch
Varianten Vakuum    alle Bereiche bis 10E-9 mbar UHV

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Noch mehr Achsen für Ihre Vakuumanwendungen?

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

Übersicht Standard-Stages     Technischen Berater kontaktieren

Nur bestimmte Materialien, Komponenten und Schmierstoffe genügen den Anforderungen an niedriges Ausgasen. Oft ist die Verwendung flüssiger Schmierstoffe nicht möglich. Auch stellt der Ausbackprozess eine hohe Belastung für das Positioniersystem dar, die auftretenden thermischen Spannungen bei Temperaturen bis 140°C müssen beachtet werden. Alle Fertigungsteile werden vakuumgerecht konstruiert und nach der Fertigung gesondert gereinigt. Die Montage erfolgt im Reinraum. Für Systeme mit Magnetfreiheit schränkt sich die Materialauswahl noch wesentlich weiter ein.

Sowohl für UHV-Systeme für höchsten Anspruch als auch für magnetfreie Baugruppen halten wir eine Vielzahl von Lösungen bereit. 

Die kundenspezifische Anpassung unserer Positioniersysteme an bestehende Kammern oder Setups erfolgt in mehreren strukturierten Schritten. Ziel ist eine nahtlose Integration bei maximaler Präzision, Reinraum- bzw. Vakuumtauglichkeit und Betriebssicherheit.

Typischerweise umfasst der Anpassungsprozess:

  • Analyse der Einbausituation (Bauraum, Schnittstellen, Lasten, Bewegungsfreiheiten, Umgebungsbedingungen)
  • Abstimmung auf die Applikation hinsichtlich Vakuum-, Reinraum-, Magnetismus- oder Strahlungsanforderungen
  • Mechanische Anpassungen wie kundenspezifische Adapter, Grundplatten, Bohrbilder oder Bauhöhen
  • Anpassung von Antriebs-, Mess- und Kabelkonzepten inkl. Steckerführung, Durchführungen und Kabelführung
  • Material- und Schmierstoffauswahl abgestimmt auf Ausgasung, Partikelanforderungen und Bake-out


Die Auslegung erfolgt mittels 3D-Konstruktion und Simulation, auf Wunsch ergänzt durch Prototypen, Funktionstests sowie Reinraum- oder Vakuumvorbereitung. So stellen wir sicher, dass das System optimal in das bestehende Setup integriert werden kann – ohne Kompromisse bei Präzision oder Prozessstabilität.

Unsere Positioniersysteme sind für unterschiedliche Reinraumklassen gemäß ISO 14644-1 ausgelegt und können an die jeweilige Anwendung angepasst werden. Standardmäßig realisieren wir Systeme für ISO 6 bis ISO 4. Für besonders anspruchsvolle kundenspezifische Anwendungen sind – abhängig von Systemkonzept, Bewegung, Materialien und Schmierung – auch Reinraumklassen bis ISO 2 - 1 möglich.

Die erreichbare Reinraumklasse hängt dabei unter anderem ab von:

  • der gewählten Mechanik und Lagerung
  • den eingesetzten Antriebs- und Messsystemen
  • Materialien, Oberflächenbehandlungen und Schmierstoffen
  • Bewegungsprofilen und Betriebsbedingungen z.B. Einhausung, Absaugung
  • Mehrstufige Reinigungsprozesse, Handling & Kommissionierung

Alle Reinraumsysteme werden entsprechend vorbereitet, montiert und endgereinigt im Reinraum. Auf Anfrage entwickeln wir kundenspezifische Lösungen, die exakt auf die geforderte Reinraumklasse und Anwendung abgestimmt sind.

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Für Systeme mit Schritt- oder Piezo Motor bieten wir Vakuum-Präparation:

  • Alle Teile vakuumgereinigt
  • Flüssigschmierung mit UHV-Öl für Drücke bis 10-6 mbar
  • Maximale Ausheiztemperatur 80 °C
  • Ausgerüstet mit Phytron-Schrittmotoren
  • Edelstahlkomponenten (Kugelgewindetrieb, Führungen, Lager, Schrauben)
  • Kapton- oder PTFE-Verkabelung
  • Kapton- oder Keramik-Sub-D-Stecker
  • Unbehandelte Aluminiumoberflächen
  • Bohrungen und Kavitäten mit Lüftungslöchern, entlüftete Schrauben oder geschlitzte Scheiben
  • Ohne Abdeckungen
  • Montiert in unserem Reinraum
  • Endgereinigt
  • Lieferung in evakuierter, doppelter Kunststoffverpackung

Klicken Sie hier für mehr Systeme:
Übersicht über unsere Standardachsen

Sie suchen eine technische Lösung für Ihre Anwendung?

Jetzt den ersten 3D Entwurf in nur wenigen Tagen erhalten:

 

Elger Matthes
Beratung, Konzepte, Innovation & Engineering
T +49 351 88585-82
E-Mail

Unsere Referenzen