MT130-SM (ISO 5)
Miniatur-Lineartische

Lineartisch 130 x 155 x 43 mm (Reinraum ISO 5), Hub 50 mm, Repro ± 2.3 µm, Last 4.5 kg, Speed 40 mm/s

EUV Miniatur Lineartisch

EUV-tauglich; Reinraumklasse bis ISO 5

Wiederholgenauigkeit bis 2.3 µm

Permanent-Magnetbremse

Optionen:

Stapelbar zum kompakten 3-Achs-Positioniersystem: MP130-3
Kombinierbar mit dem Drehtisch DT130
Verfahrwege bis 80 mm auf Anfrage
Hochauflösendes Messsystem
Kundenspezifische EUV-Schmierung, Nickel-Beschichtungen, PTFE- & KEPLA^®, Fluorierte Schmierstoffe, Dicronite® / Dry-Film-Beschichtungen
Maßgeschneiderte Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Anwendungsfelder

Positionierung in kleinen Bauräumen im EUV-Reinraum z.B. Kamera, Mikroskop / Sensor (AFM, WLI), Aufbau von platzsparenden XYZ Mehrachssystemen, Manipulator für Industrie und Forschung, Kompakte Reinraum-Positioniersysteme, Wafer Inspektion, Wafer Prober Justage

Spezifikationen

MT130 (782327:084.26)		-50-SM
Verfahrweg	[mm]	50
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[μm]	± 2.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[μm]	± 4.3
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	20
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	40
Max. Last Fx	[N]	45
Max. Last Fy	[N]	95
Max. Last Fz	[N]	95
Länge	[mm]	155
Breite	[mm]	130
Höhe	[mm]	43
Gewicht	[kg]	2.2
Antrieb		Kugelgewindetrieb 1214.563/2.8.78.115 P3P (ISO 5)
Steigung		2
Lager		Kreuzrollenlager Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik
Motor		Schrittmotor
Feedback		Open Loop
Optionale Zusatzausstattung		Verfahrwege bis 80 mm auf Anfrage, hochauflösendes Linearmesssystem, kundenspezifische EUV-Schmierung, Nickel-Beschichtungen, PTFE- & KEPLA^®, Fluorierte Schmierstoffe, Dicronite® / Dry-Film-Beschichtungen Gewindespindel mit Trockenschmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraumklasse ISO 5 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch
Varianten Vakuum		auf Anfrage

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.