Nahezu alle hier dargestellten Miniatur-Linearstages sind optional uneloxiert und mit UHV-geeigneter Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar verfügbar. In dieser Konfiguration erreichen sie mindestens Reinraumklasse ISO 6 – oder besser – und eignen sich damit auch für sensible Umgebungen.

Für anspruchsvollere Einsatzbedingungen, wie Reinraumklasse ISO 4 -2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlungsumgebungen, stehen speziell ausgelegte Stage-Varianten zur Verfügung:

Überblick Reinraum & Vakuum Linear Stages     Technische Beratung kontaktieren

Materialien

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet überwiegend Aluminium für die Struktur mehrachsiger Positioniersysteme.
In speziellen Fällen sind Stahl und auch Titan (z. B. magnetfreie Systeme) möglich.

Der Grund: Aluminium führt lokale Erwärmungen effizient ab, sodass sich das System schnell in einen thermisch eingeschwungenen Zustand einstellt – eine wesentliche Voraussetzung für stabile und hochgenaue Positioniersysteme.

Die geringere Steifigkeit von Aluminium im Vergleich zu Stahl wird konstruktiv kompensiert, z. B. durch:

• eine leicht erhöhte Bauhöhe der Tische
• den Einsatz von Hohlprofilen

Wichtig: Ein Aluminium- und ein Stahlbalken mit identischer Geometrie weisen unter Eigengewicht die gleiche Durchbiegung auf. Für spezielle Anforderungen – z. B. magnetfreie Anwendungen – kommen auch Titan-Ausführungen zum Einsatz.
 

Funktionale Oberflächen und Beschichtungen

Neben Standardoberflächen stehen zahlreiche kundenspezifische Oberflächen- und Beschichtungskonzepte zur Verfügung.
Diese sind gezielt darauf ausgelegt, sehr hohe Reinraumklassen zu erreichen – bis ISO 1–2, abhängig von Anwendung und Prozess.

Zur Erfüllung anspruchsvoller Prozessanforderungen entwickeln und qualifizieren wir anwendungsspezifische Funktionsbeschichtungen, unter anderem:

• Nickel-Beschichtungen
• PTFE- & KEPLA®-Beschichtungen
• Fluorierte Schmierstoffe
• Dicronite® / Dry-Film-Beschichtungen
• Applikationsspezifische Beschichtungs-Kombinationen

Darüber hinaus sind verfügbar:

• eloxiert (gereinigt)
• alternative Farb-Eloxale
• Aluminium blank, gereinigt
• Bilatal
• Nickel

Diese Oberflächen eignen sich z. B. für hohe Reinheitsanforderungen, chemische Beständigkeit (Life Science) oder prozesskritische Umgebungen.

Warum Funktionsbeschichtungen entscheidend sind (Vorher → Nachher)

• Standardoberfläche → EUV-taugliche Oberfläche
• Reflektierend → nicht reflektierend, minimiertes Streulicht
• Begrenzte Gleitfähigkeit → maximales Gleiten & reduzierter Verschleiß
• Basisschutz → chemische & korrosive Beständigkeit
• One-size-fits-all → kostenoptimierte, applikationsspezifische Performance

Sonderoberflächen sind häufig erforderlich für UV / DUV / EUV-Anwendungen (Röntgen- oder Gamma-Anwendungen auf Anfrage).

Durch die geringe Bauhöhe und präzise Führungsmechanik können mehrere Achsen direkt übereinander montiert werden. So entstehen hochkompakte XYZ-Positioniersysteme mit minimaler Grundfläche. Wichtig dafür ist, dass die maximale Kraft in Antriebsrichtung nicht überschritten wird. Die Kraft für die vertikale Positionierung wird in der Spezifikation bei Linear Stages unter Fx angegeben.

Vorteile der XYZ-Stapelbauweise:

• Sehr geringe Systemhöhe
• Modular erweiterbar
• Hohe Positioniergenauigkeit
• Flexible Kombination verschiedener Verfahrwege

Beispiele für gestapelte Miniatur-Systeme finden Sie hier:

XYZ-Stapel Mehrachssysteme

Parallelkinematische Aufbauten mit gestapelten Miniatur Lineartischen

Parallelkinematische Systeme auf Basis von Minatur-Lineartischen vereinen Vorteile parallelkinematischer und gestapelter Systeme in einem Aufbau: 

• viele Freiheitsgrade
• kleine Verfahrwege
• höchste Präzision
• beengter Bauraum

Solche Aufbauten in Kombination mit XY oder Drehtischen werden häufig als parallelkinematische Konstruktionen eingesetzt und stellen eine kosteneffiziente Alternative zu Hexapoden dar – insbesondere für Active-Alignment-Applikationen in der Optik und Photonik. In Kombination mit kompakten Drehtischen lassen sich besonders platzsparende XYZ-R-Systeme realisieren.

Weitere Informationen zur optischen aktiven Ausrichtung & weitere Systemaufbauten finden Sie hier:
Active Aligment XY Theta Systeme XYZ Tip-Tilt-Systeme

Für Miniatur-Stages bietet Steinmeyer Standard-Motion-Controller, SPS-Integration sowie kundenspezifische Embedded-Lösungen. Je nach Einbausituation kann die Steuerung platzsparend extern im Schaltschrank oder vollständig integriert direkt im Miniatur-System realisiert werden.

Übersicht Motion Controller & Steuerungskonzepte

Systemarchitektur – optimiert für kompakte Bauformen

Steuerungslösungen für Miniatur-Stages werden applikationsspezifisch ausgewählt und präzise auf Antriebskonzept, Messsystem sowie Einbausituation abgestimmt. Besonderer Fokus liegt auf minimalem Bauraum, thermischer Stabilität und effizienter Kabelführung.

Standard-Motion-Controller

• Geeignet für Einzelachsen oder gestapelte Mehrachssysteme
• Parametrierbare Regelkreise (Position / Geschwindigkeit / Drehmoment)
• Feldbus-Schnittstellen (z. B. EtherCAT, PROFINET)
• Schnelle Inbetriebnahme und einfache Parametrierung

Typische Anwendung: Kompakte Präzisionsachsen mit Kugelgewindetrieb, Schrittmotor oder Linearmotor.

SPS-Integration

• Einbindung in bestehende Maschinensteuerungen
• Zentrale Anlagenlogik über kundenseitige SPS
• Reduzierter Integrationsaufwand für OEM-Anwendungen
• Standardisierte industrielle Kommunikationsprotokolle

Typische Anwendung: Platzkritische Automationssysteme und modulare Maschinenplattformen.

Kundenspezifische Embedded-Lösungen

• Hochkompakte, applikationsspezifische Controller
• Integrierte Leistungsendstufen zur Reduzierung des Verkabelungsaufwands
• Optimiert für minimalen Einbauraum
• Anpassbar für Reinraum-, Vakuum- oder Active-Alignment-Anwendungen

Typische Anwendung: Hochintegrierte Miniatur-Positioniersysteme mit strengen Anforderungen an Bauraum oder Umgebungsbedingungen.