Miniatur-Lineartische

Einige Miniatur-Lineartische lassen sich optimal zu kompakten Mehrachssystemen kombinieren, die mittels unserer Controller der FMC-Serie angesteuert werden können.

Antriebsart
Messsystem
1 MT130-SM - Miniatur-Lineartische

Lineartisch 130 x 130 x 43 mm, Hub bis 80 mm, Repro 2.3 µm, Last 9 kg, Speed 40 mm/s

1 MT130-DC - Miniatur-Lineartische

Lineartisch 130 x 130 x 43 mm, Hub bis 80 mm, Repro 0.7 µm, Last 9 kg, Speed 60 mm/s

2 MT105-NM - Miniatur-Lineartische

Mikrotisch für anspruchsvolle Umgebungen. Ausgestattet mit Kreuzrollenführungen und Piezomotor.

1 MT105-PM - Miniatur-Lineartische

Mikrotisch mit Kreuzrollenführungen und Piezo LEGS® Motor für anspruchsvolle Umgebungen.

1 MT95-DC - Miniatur-Lineartische

Lineartisch 95 x 95 x 40 mm, Hub bis 40 mm, Repro 1.5 µm, Last 6 kg, Speed 2 mm/s

1 MT95-SM - Miniatur-Lineartische

Lineartisch 95 x 95 x 40 mm, Hub bis 40 mm, Repro 2.1 µm, Last 6 kg, Speed 11 mm/s

2 MT63-DC - Miniatur-Lineartische

Mikrotisch für hochpräzise Anwendungen. Angetrieben durch DC-Motor.

2 MT63-SM - Miniatur-Lineartische

Mikrotisch für hochpräzise Anwendungen. Angetrieben durch einen Schrittmotor.

2 MT53-PM - Miniatur-Lineartische

Mikrotisch mit Kreuzrollenführung und Piezomotor für Schrittweiten im Nanometerbereich.

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Achsen für Reinraum- und Vakuumanwendungen

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar und Reinraumklasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht unserer Vakuum- und Reinraumsysteme!

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