DT155-NM
Drehtische

Hochauflösender Drehtisch (Piezo Motor), Hub n x 360°, Apertur ⌀ 78 mm, Repro ± 0.0015 °, Last 7 kg, Geschwindigkeit 120 °/s
DT155-NM

 

Hochpräzise mit dynamischer Bildgebung

  • Kompakt und sehr flach (200 x 155 x 35 mm)
  • Wiederholgenauigkeit bis ± 0.0015 °
  • Großes Durchlicht von 78 mm
Optionen:
  • Ausführung für Reinraum, Vakuum und Strahlung
  • Kombinierbar mit der XY Aperture Stage KDT180-NM
  • Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Anwendungsfelder

Hochpräzise und dynamische Mikroskopie z.B. Elektronenmikroskop, Ionen-Mikroskop, Rasterelektronenmikroskop, Waferhandling, Waferinspektion, Halbleiter Qualitätskontrolle, Halbleiterforschung

 

DT155   -1NM-W -2NM-W -3NM-W -4NM-W
Anzahl an Motoren   ein Motor zwei Motoren drei Motoren vier Motoren
Verfahrweg [deg] n x 360 n x 360 n x 360 n x 360
Wiederholgenauigkeit unidirektional [deg] ± 0.0015 ± 0.0015 ± 0.0015 ± 0.0015
Wiederholgenauigkeit bidirektional [deg] ± 0.0027 ± 0.0027 ± 0.0027 ± 0.0027
Positioniergenauigkeit [deg] ± 0.0039 ± 0.0039 ± 0.0039 ± 0.0039
Exzentrizität [µm] ± 5 ± 5 ± 5 ± 5
Taumel [µrad] ± 90 ± 90 ± 90 ± 90
Positioniergeschwindigkeit [deg/s] 123 123 123 123
Max. Geschwindigkeit [deg/s] 185 185 185 185
Max. Beschleunigung [deg/s2] 2090 2090 2090 2090
Max. Last Fz [N] 71 71 71 71
Max. Lastmoment Mx, My [N] 5.0 5.0 5.0 5.0
Max. Lastmoment Mz [N] 0.6 1.2 1.8 2.4
Länge [mm] 200 200 200 200
Breite [mm] 155 155 155 155
Höhe [mm] 35 35 35 35
Drehteller Ø [mm] 150 150 150 150
Apertur Ø [mm] 78 78 78 78
Gewicht [kg] 0.8 1.6 2.4 3.0
Lager   Dünnringlager
Motor   Nanomotion (Piezo)
Antrieb   Reibung, Ultraschall
Feedback   Winkelmesssystem
Oberfläche   Aluminium eloxiert, blank
Optionale Zusatzausstattung   kundenspezifsche Adapter oder Bohrungsraster,
Kombination mit Standard XY-Kreuztischen, Linarachsen oder Hubtischen
Varianten Reinraum   bis Reinraumklasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung   EUV, DEV, UV (Röntgen und Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus   magnetarm (magnetfrei auf Anfrage)
Varianten Vakuum   10-8 mbar (höher auf Anfrage)

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

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Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Standardachsen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Linear Stages    Technischen Berater kontaktieren

Ja, Lineartische können auch als Hubtische (Z-Richtung) sowie gestapelt (XY-Bewegungen verwendet werden).

Wichtig dafür ist, dass die maximale Kraft in Antriebsrichtung nicht überschritten wird. Die Kraft für die vertikale Positionierung wird in der Spezifikation bei Linear Stages unter Fx angegeben.

 

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Linear Stages, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genaue Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Positioniertische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch! 
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.

Welche Oberflächen sind verfügbar?

Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.

Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:

  • Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
  • Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
  • Piezomotoren wie Piezo-Legs® oder Nanomotion®.

Als Feedback-System werden in den meisten Fällen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur® bzw. Zeromet® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.


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