Rz-X-Y-Ry-Rx | Z-R-F 8-Achs-Positionierer zur Inspektion von Optiken | Apertur Drehtisch und Aligner 45 mm | Hub 360°, 2 x 2 x 25 mm, 90°, 50 mm
XYZ Tip-Tilt System
417815.2022.W3.AB
8-Achs-Verstellung für beliebige Betrachtungswinkel
Dieses Positioniersystem erlaubt eine Tangential-Abtastung in 6 Freiheitsgraden mit einer sehr hohen Wiederholbarkeit. Die in Fokus, Winkel und Abstand einstellare Probenhalterung befindet sich auf einem XYZ-Phi-Delta Aligner mit Durchlicht, welcher in 4 Achsen die Kippungen und den lateralen Versatz korrigiert. Kombiniert mit dem darunter befindlichen Durchlicht-Drehtisch sind zusätzlich Rotationen um 360° sowie Auf- und Durchlichtmessungen möglich. Ein sehr steifer Vertikalhub trägt eine manuelle Winkelverstellung mit motorischer Abstandsverstellung für den Sensor, der auch als Fokus dient.
Ideal für 2D-Durchlicht-Messungen
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Optionen:
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Individuelle Erweiterungen und Anpassungen
Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz
417815.2022.W3.AB |
| Rz Probe | X Probe | Y Probe | Rx Probe | Ry Probe | R Sensor | F Sensor | Z Sensor | |
Standard System |
| DT250 | MP200-5 | MP200-5 | MP200-5 | MP200-5 |
| PMT160-DC-L | PLT165-SM | |
[mm; deg] | n x 360 | ± 2 | ± 2 | ± 1.5 | ± 1.5 | 90 | 50 | 100 | ||
[µm; deg] | 0.0005 | ± 0.5 | ± 0.5 | ± 1.3 | ± 1.3 | 1 | ± 0.3 | ± 3.9 | ||
[µm; deg] | 0.001 | ± 2 | ± 2 | ± 5.2 | ± 5.2 | 1 | ± 0.4 | ± 4.4 | ||
Positoniergeschwindigkeit | [mm/s; deg/s] | 700 | 0.5 | 0.5 | 0.4 | 0.4 |
| 30 | 40 | |
| Spitzengeschwindigkeit | [mm/s; deg/s] | 1400 | 1 | 1 | 0.8 | 0.8 | 60 | 80 | ||
Max. Last | [N] |
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| 20 |
| 40 | 150 | |
Motor |
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| manuell |
| Schrittmotor | |||||
Führung |
| Festkörper | Festkörper | Festkörper | Festkörper | Gleitführung | Profilschiene | |||
Antrieb |
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| Getriebe, Gleitgewindetrieb | Getriebe, Gleitgewindetrieb | Getriebe, Gleitgewindetrieb | Getriebe, Gleitgewindetrieb |
| Kugelgewindetrieb | ||
Feedback |
| Skale | ||||||||
| Apertur | [mm] | Ø 45 mm | ||||||||
| Länge x Breite x Höhe | [mm] | 600 x 600 x 880 | ||||||||
Integrierter Controller
Wir unterstützen die Integration des Motion Controllers direkt in das Positioniersystem.
FMC250/280
Mehrachscontroller mit erhöhtem Strom und Spannung für Punkt–zu-Punkt Positionierung.
FMC300
Einbau-Modul für dynamische Anwendungen und hohe Lasten und Spannung.
FMC400/450
Voll bahnfähiger Mehrachscontroller, einfaches Erstellen von eigenen Programmen.
ACS
Wir unterstützen die Integration unserer Systeme in Ihre ACS-Umgebung
SPS
Wir unterstützen die Anbindung unserer Systeme an SPS-Architekturen z.B. Beckhoff
Verwendete Standard Komponenten
PLT165-SM
PMT160-DC
PMT160-SM
KGT 1214
Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Achskombinationen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:
Übersicht Reinraum & Vakuum Stages Technischen Berater kontaktieren
Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Mehrachsigen Positioniersystemen, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genau Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Tische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch!
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.
Welche Oberflächen sind verfügbar?
Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.
Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:
- Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
- Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
- Piezomotoren wie Piezo-Legs® oder Nanomotion®.
Als Feedback-System werden in den meisten Mehrachs-Positioniersystemen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur® bzw. Zeromet® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.
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