MP220-4 Miniatur-XY-Phi-Delta Positioniersystem, Kardan auf XY Apertur Stage | Hexapod Alternative | Hub XY 10 mm Rx Ry 4° | hohe Last bis 10 kg
XYZ Tip-Tilt System

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MP220-4 Miniatur-XY-Phi-Delta Positioniersystem, Kardan auf XY Apertur Stage | Hexapod Alternative | Hub XY 10 mm Rx Ry 4° | hohe Last bis 10 kg - XYZ Tip-Tilt System

 

Kardan auf XY Stage mit Apertur

Dieser XY Phi Delta Aligner besteht aus drei zwei vertikal wirkenden Präzisionsachsen, die mit einer beweglichen Lastplatte verbunden sind. Die Lastplatte lässt sich in zwei Achsen kippen und der darunter liegende Apertur-Durchlichttisch ermöglicht zusätzlich eine XY-Bewegung.

  • Ideal für die optische und aktive Ausrichtung von hohen Lasten bis 10 kg
  • Großes Durchlicht für hochauflösende Scan-Anwendungen
  • Gutes Preis-Leistungs-Verhältnis und sehr hohe Lebensdauer

Optionen:

  • Drehung um die Hauptachse mit einem zusätzlichen Drehtisch
  • Verschiedene, hochauflösende Messsysteme
  • Erweiterte Verfahrwege in XY-Richtung
  • Ausführung für Reinraum, Vakuum und Strahlung
  • Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Anwendungsfelder

Optische & aktive Ausrichtung (optical & active alignment), Hochauflösende Anwendungen in der Mikroskopie, optische Inspektionssysteme, 3D-Imaging, Screening, Auflichtmessungen, Durchlichtmessung, Interferometrie, Messtechnik, Autofokus-Systeme, Biotechnologie, Halbleitertests

 

MP220-4   X Y Rx Ry
Verfahrweg [mm; deg] (20) 10 (20) 10 4 4
Wiederholgenauigkeit unidirektional [µm; deg] ± 0.5 ± 0.5 ± 0.003 ± 0.003
Wiederholgenauigkeit bidirektional [µm; deg] ± 1 ± 1 ± 0.01 ± 0.01
Positioniergeschwindigkeit [mm/s; deg/s] 2 2 0.1 0.1
Max. Geschwindigkeit [mm/s; deg/s] 4 4 0.2 0.2
Max. Last [N]       100
Länge x Breite x Höhe [mm] 235 x 220 x 100
Apertur [mm] Ø 45
Antrieb   Gleitgewinde Gleitgewinde Gleitgewinde Gleitgewinde
Spindel Typ   M5,55625x0,6096
Motor   Schrittmotor Schrittmotor Schrittmotor Schrittmotor
Feedback   Open Loop Open Loop Open Loop Open Loop
Material   Aluminium eloxiert
Optionale Zusatzausstattung   Drehtisch, Probenhalter, kalbellose Energiezuführung für Endlosdrehung
Varianten Reinraum    bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung    UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus    magnetisch (magnetarm auf Anfrage)
Varianten Vakuum   bis 10E-6 mbar (höher auf Anfrage)
Bemerkung   Drehpunkt fix 25mm unter Tischfläche. Für ortsfesten Beobahtungspunkt beim Kippen mit Verschiebung korrigieren.

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

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Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Achskombinationen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Stages    Technischen Berater kontaktieren

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Mehrachsigen Positioniersystemen, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genau Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Tische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch! 
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.

Welche Oberflächen sind verfügbar?

Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.

Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:

  • Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
  • Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
  • Piezomotoren wie Piezo-Legs® oder Nanomotion®.

Als Feedback-System werden in den meisten Mehrachs-Positioniersystemen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur® bzw. Zeromet® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.

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