9-Achs Positioniersystem mit Verfahrwegen bis 100 mm | XYZ DC-Motor, Kugelgewindetrieb, Motor-Encoder | Phi Theta Omega DC-Motor, AC-Servo, Harmonic Drive
XYZ Tip-Tilt System

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Automatisierte und hochauflösende Aufnahmen aus jedem Winkel

Dieses 9-Achs-Positioniersystem ermöglicht es, Proben aus allen möglichen Winkeln unter Mikroskopen oder hochauflösenden Kameras zu betrachten wie z.B. Einspritzdüsen, Stents, kleine Zerspanungswerkzeuge, Kanülen und sonstige rotationssymmetrische Teile. Es besteht aus den robusten und steifen Standardkomponenten des KLT310 mit PMT160 für XYZ, an dem verschiedene Mikroskoptypen befestigt werden können. Für die Schwenkachse kommt der leichte, kompakte und stabile XY-Offsettisch KT180 zum Einsatz, darauf weitere Schwenkachse mit Drehachse und Aufnahmefutter. 
 

Ultrafeine Details trotz kurzer Prozesszeiten

  • Ideal für den Aus- und Aufbau von hochpräzisen 3D Prozessen in der Medizin, Biotechnologie und Halbleitertechnik
  • Ultrafeine Abbildung von Details und höhere Vergrößerungen durch Stabilität im µm Bereich
  • Kurze Prozesszeiten mit hohen Geschwindigkeiten bis 35 mm/s
  • Sehr hohe Wiederholbarkeit der Ergebnisse mit bis zu 2.5 µm und feinste rotatorische Bewegungen bis 0.02°
  • Wartungsarm mit außergewöhnlich hoher Lebensdauer durch langjährig zuverlässige Standardachsen

Besonderheiten:

  • Konfigurierbar für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Anpassbar für weitere Verfahrwege und beliebige Prüflinge
  • Verschiedene Motorvarianten: DC-Motor, Schrittmotor und Linearmotor
  • Optional mit gebrauchsfertiger Steuerung durch vorkonfigurierten Controller inkl. Beispielsoftware

    Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

    Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

    Anwendungsbereiche

    Herstellung, Inspektion / Qualitätssicherung von medizinischen Verbrauchsmaterial und Operationswerkzeug (Kanülen, Lanzetten, Skalpelle, Infusionszubehör, Schlauchverbinder), Ausrichten und Inspektion von optischen Komponenten (Linsen, Prismen), Herstellung und Qualitätskontrolle von Präzisionskomponenten (Düsen, Nadeln, Ventile)

     

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    X

    Y

    Z

    XR

    YR

    Rx

    Ry

    Rz1

    Rz2

    Standardkomponente

     

    KLT310-DC

    KLT310-DC

    PMT160-DC

    KT180-DC

    KT180-DC

    DE-H100

    DE-H50

    DE-H100

    DE-H50

    Verfahrweg

    [mm; deg]

    20

    100

     

    80

    15

     

    50

    45

    45

    360

    n x 360

    Wiederholgenauigkeit bidirektional

    [µm; deg]

    ± 2.5

    ± 2.5

    ± 2.5

    ± 2.5

    ± 2.5

    0.02

    0.02

    0.02

     

    Wiederholgenauigkeit unidirektional

    [µm; deg]

    ± 2

    ± 2

    ± 2

    ± 2

    ± 2

    0.01

     

    0.01

     

    0.01

     

     

    Positoniergeschwindigkeit

    [mm/s; deg/s]

    25

    25

    5

    7

    7

    10

    25

    35

    10

    Max. Last

    [N]

     

     

    80

     

     

     

     

     

    0.5

    Motor

     

    DC-Motor

    DC-Motor

    DC-Motor

    DC-Motor

    DC-Motor

    AC-Servo

    AC-Servo

    AC-Servo

    AC-Servo

    Antrieb

     

    Kugelgewindetrieb

    Kugelgewindetrieb

    Kugelgewindetrieb

    Kugelgewindetrieb

    Harmonic Drive

    Harmonic Drive

    Harmonic Drive

    Harmonic Drive

    Harmonic Drive

    Feedback

     

    Motor-Encoder

    Motor-Encoder

    Motor-Encoder

    Motor-Encoder

    Motor-Encoder

    Motor-Encoder

    Motor-Encoder

    Motor-Encoder

    Motor-Encoder

     

    Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.


    Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Achskombinationen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

    Übersicht Reinraum & Vakuum Stages    Technischen Berater kontaktieren

    Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Mehrachsigen Positioniersystemen, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genau Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Tische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch! 
    In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.

    Welche Oberflächen sind verfügbar?

    Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.

    Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:

    • Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
    • Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
    • Piezomotoren wie Piezo-Legs® oder Nanomotion®.

    Als Feedback-System werden in den meisten Mehrachs-Positioniersystemen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur® bzw. Zeromet® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.

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