XY-Rz Positioniersystem (Reinraum ISO 6) | XY Linearmotor, Linearmesssystem | Theta AC-Servo, Harmonic Drive | Hub 170 x 170 mm x 360°
XY Theta System

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Präzise XY-Rz Positionierung 

Das Positioniersystem bewegt die Probe über eine XY-Plattform mit einem KT305-EDLM-Lineartisch und einer darauf montierten Dreheinheit (Theta-Achse). Die Probe wird über einen Vakuumchuck fixiert und mithilfe eines Lichtschrankensystems an den Kanten exakt positioniert. Anschließend erfolgen die Bearbeitung und Vermessung.

  • Ideal für schnelles Aligment in automatisierten Prozessen
  • Hochpräzise Bewegungen mit ± 0,4 µm in XY und 0,005° in Phi
  • Integrierter 3-Achs-GALIL-Controller mit Sensorauswertung, Fehlerkorrektur und Achssteuerung
  • Wartungsfrei im 24/7 Betrieb

Optionen:

  • Alternative Lineartische und Dreheinheiten verfügbar
  • Konfiguration für Labor- und Reinraumanwendungen (bis ISO-Klasse 6 oder besser)
  • Integration zusätzlicher Sensorik oder Kamerasysteme
  • Anpassbare Software für kundenspezifische Positionieralgorithmen
  • Optionale Schutzabdeckungen und Vakuumkomponenten

Anwendungsfelder

Inspektion, Strukturierung, Mikroskopie, Messtechnik, Qualitätssicherung, Präzisionsbearbeitung, Halbleitertechnik, Automatisierung

 

782460:001.26   X Y Rz
Standard System   KT305-edlm KT305-edlm DE130-AC
Verfahrweg [mm; deg] 170 170 n*360
Wiederholgenauigkeit unidirektional [µm; deg] ± 0.4 ± 0.4 0.005
Wiederholgenauigkeit bidirektional [µm; deg] ± 0.5 ± 0.5 0.007
Positioniergeschwindigkeit [mm/s; deg/s] 50 50 180
Max. Geschwindigkeit [mm/s; deg/s] 100 100 360
Max. Last [N]   50 50
Länge × Breite × Höhe [mm] 515 × 350 × 220
Max. Probengröße [mm] 156 × 156 mm / 6"
Gewicht [kg] 44
Motor   Dynamischer Linearmotor (eisenlos) Dynamischer Linearmotor (eisenlos) AC-Servo (AC)
Antrieb       Harmonic Drive
Feedback   Linearmesssystem Linearmesssystem Motor-Encoder
Auflösung Messsystem   optional bis zu 0,1 µm, 0,001 µm oder besser
Optionale Zusatzausstattung   Alternative Lineartische und Dreheinheiten verfügbar, Konfiguration für Labor- und Reinraumanwendungen, Integration zusätzlicher Sensorik oder Kamerasysteme, anpassbare Software für kundenspezifische Positionieralgorithmen, optionale Schutzabdeckungen und Vakuumkomponente, Grundplatte (Granit / Aluminium), Gestell, Umhausung, angepasste Vibrationsentkopplung mittels dämpfender Gummizwischenlage oder pneumatischer Dämpfer, Sicherheitskonzept und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgitter, Laserscanner, STO, SLS)
Reinraum Varianten   bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Beam variants   UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus   magnetisch

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.


Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Achskombinationen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Stages    Technischen Berater kontaktieren

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Mehrachsigen Positioniersystemen, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genau Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Tische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch! 
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.

Welche Oberflächen sind verfügbar?

Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.

Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:

  • Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
  • Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
  • Piezomotoren wie Piezo-Legs® oder Nanomotion®.

Als Feedback-System werden in den meisten Mehrachs-Positioniersystemen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur® bzw. Zeromet® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.

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