XY-Theta Positioniersystem (Reinraum ISO 6) | XY Linearmotor, Profilschiene | Theta DC-Motor | Hub 200 x 250 mm x 360°
XY Theta System

782300:097.26

Hochgenaue Positionierung für Proben bis 150 mm / 6"

Das System besteht aus zwei Lineartischen PLT240 (X- und Y-Achse) und einem Drehisch DT58 (Theta-Achse). Beide Lineartische werden mit dynamischen Linearmotoren, der Drehtisch mit einem DC-Motor angetrieben.

Ideal zum flexiblen Auf- und Ausbau von Reinraumanlagen

Hohe Genauigkeit bis 0.4 µm / 0.004°

Hohe Beschleunigungen und Geschwindigkeiten bis 1000 mm/s

Besonders geringe Wärmeentwicklung bei häufigen Start und Stop Phasen

Ausgelegt für den wartungsfreien 24/7 Betrieb in Reinraumumgebung

Optionen:

Verschiedene, hochauflösende Messsysteme
Aufbau mit Z-Achse, Traverse, Gestell und Umhausung
Linearmotor mit Temperaturüberwachung
Anpassung an den Prozess: Verfahrwege, Adaptionsplatte, Chuck, Grundplatte, Gestell, Umhausung, Sicherheitskonzept
Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die anwendungsspezifische Positionieraufgabe.

Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsfelder

Partikelarme Linear-Dreh-Positionierung z.B. für Schneidsysteme, Inspektionssysteme, Halbleiterproduktion, Wafer Dicing & Scribing (Silicon, GaAs, InP, Silica, Glass etc.), Optik, Photonik, Lasertechnik

Spezifikationen

782300:097.26		X	Y	Rz
Standard System		PLT240-200-DLM	PLT240-250-DLM	DT58-DC-R
Verfahrweg	[mm; deg]	200	250	n x 360
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 0.4	± 0.4	± 0.004
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 0.5	± 0.5	± 0.007
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	530	530	100
Max. Geschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	1060	1060	150
Max. Last	[N]	150	150	150
Gewicht	[kg]	60
Länge x Breite x Höhe	[mm]	600 x 650 x 225
Max. Durchmesser der Probe		150 mm / 6" (optional größer als Sonderausführung)
Führung		Profilschiene	Profilschiene
Motor		Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)	Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)	DC Motor
Feedback		Linearmesssystem	Linearmesssystem	Motor-Encoder
Optionale Zusatzausstattung		Z-Achse (z.B. PMT240) mit Traverse, Linearmotor mit Temperatur-Überwachung, Winkelmesssystem, Adaptionsplatte, Chuck, Grundplatte (Granit / Aluminium), Gestell, Umhausung, Sicherheitskonzept und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgitter, Laserscanner, STO, SLS)
Reinraum Varianten		bis Reinraum Klasse ISO 6 (auf Anfrage)
Strahlung Varianten		UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Passende Controller

FMC250/280

Mehrachscontroller mit erhöhtem Strom und Spannung für Punkt–zu-Punkt Positionierung.

FMC400/450

Voll bahnfähiger Mehrachscontroller, einfaches Erstellen von eigenen Programmen.

SPS

Wir unterstützen die Anbindung unserer Systeme an SPS-Architekturen z.B. Beckhoff

Verwendete Standard Komponenten

PLT240-DLM

High Performance Stage (Linearmotor), Hub 200 - 1000 mm, Repro 0.4 µm, Last 15 kg, Speed 1815 mm/s

DT130-DC

Selbsthaltender Drehtisch (DC-Motor), Hub n x 360 °, Apertur ⌀ 25 mm, Repro ± 0.002 °, Last 4 kg, Geschwindigkeit 40 °/s

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Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Achskombinationen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Stages Technischen Berater kontaktieren

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Mehrachsigen Positioniersystemen, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genau Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Tische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch!
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.

Welche Oberflächen sind verfügbar?

Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.

Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:

Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
Piezomotoren wie Piezo-Legs^® oder Nanomotion^®.

Als Feedback-System werden in den meisten Mehrachs-Positioniersystemen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur^® bzw. Zeromet^® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.