MP410-3 Hochvakuum Aligner bis 10E-6 mbar | XYRz Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Last 5 kg | Hub 15 x 15 x 5°
XY Theta System

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Flächen-Aligner mit Schrittmotor und Kugelgewindetrieb

Mit diesem Aligner werden zwei translative Bewegungen von 15 mm in der Ebene und eine Rotation um die Vertikale von bis zu ± 5 Grad realisiert. Die Bewegung R () resultiert aus der XY-Bewegungskombination. Der Aligner ist für Lasten bis zu 25 kg ausgelegt. Die Durchlichtöffnung erlaubt eine Transfermessung.
 

Außergewöhnliche Präzision im Hochvakuum

  • Ideal für Transfermessungen unter Vakuum bis 10-6 mbar
  • Ausgelegt für große Proben mit einer Apertur von 235 mm
  • Hohe Wiederholgenauigkeiten bis 1.6 µm bei einer Nutzlast von 25 kg
  • Ideale Kraftübertragung durch einen spielfreien Kugelgewindetrieb
  • Optimiertes Preis-Leistungs-­Verhältnis bei gleichzeitig präzisen Ablaufwerten

Optional:

  • Anpassung an den Prozess: Apertur, Probenhalterung, Zuführung, Sensor
  • Auslegung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Individueller Aufbau mit Gestell, Schwingungsisolierung, Umhausung
  • Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die anwendungsspezifische Positionieraufgabe.

Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests
 

Anwendungsfelder

HV / UHV Wafer-Inspektion, Halbleiterinspektion, Halbleiter Justage, Ausrichtung von Proben im Hochvakuum, Analyse, Auf- und Durchlichtmessungen, Transfermessungen, Montageaufgaben, Ausrichten von Teilen vor dem Fügen

 

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X

Y

Rz

Standardsystem

 

LA85

LA85

 LA85

Verfahrweg

[mm; deg]

± 15

± 15

± 5

Wiederholgenauigkeit unidirektional

[µm; deg]

± 1.6

± 1.6

 ± 0.001

Wiederholgenauigkeit bidirektional

[µm; deg]

± 2.1

± 2.1

 ± 0.002

Positioniergeschwindigkeit

[mm/s; deg/s]

30 30

15

Spitzengeschwindigkeit

[mm/s; deg/s]

60 60 30

Max. Last

[N]

250

250 250

Motor

 

Schrittmotor

Schrittmotor

Schrittmotor

Antrieb

 

Kugelgewindetrieb

Kugelgewindetrieb

Kugelgewindetrieb

Feedback

 

Open Loop

Open Loop

Open Loop
Apertur

[mm]

235
Länge x Breite x Höhe

[mm]

545 x 484 x 95

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.


Die Architektur eines Mehrachssystems beeinflusst maßgeblich Bauraum, Dynamik, Genauigkeit, Regelungsaufwand und Kosten. Die Bewertungsskala lautet: +++ gerring / ++ mittel / + groß.

Kriterium Stapel (XY-Z) Portal (X-YZ) Gantry (2X-YZ / 2XY-Z)
Bauraum (Aufstellfläche, Kosten für Struktur) +++  ++ 
Eigenfrequenz (Steifigkeit, Ausregelzeit, Empfindlichkeit auf äußere Störeinflüsse) + ++  +++
Dynamik (Geschwindigkeit, Beschleunigung, Taktzeit) + ++ +++
Genauigkeit + ++  +++
Anspruch an den Controller (Gantry-Mode, Kosten) +++ +++ ++
Gesamtkosten +++  +++  ++ 
  • Stapel (Stacked): Ideal für kompakte, kosteneffiziente Systeme mit hoher Dynamik; eingeschränkt bei sehr großen Arbeitsbereichen.
  • Portal: Ausgewogener Kompromiss aus Steifigkeit, Dynamik und Arbeitsraum; höherer mechanischer und regelungstechnischer Aufwand.
  • Gantry: Optimal für große Arbeitsbereiche und hohe Ebenheitsanforderungen; höchste Komplexität, Controller-Anforderungen und Kosten.

Neben diesen Grundarchitekturen bietet Steinmeyer Mechatronik auch kompakte Mehrachskombinationen sowie kundenspezifische Sonderlösungen – abhängig von Bauraum, Last, Dynamik und Genauigkeitsanforderungen.

Die Angaben auf der Webseite basieren auf einem rechtshändigen, systemorientierten Koordinatensystem. Die Bezeichnung der Achsen und Freiheitsgrade folgt der nachstehenden Zuordnung:

Freiheitsgrad Bezeichnung bei STM Beschreibung
Translation X X Verfahrrichtung vom Motor bzw. vom Kopfteil weg
Translation Y Y Seitliche Verfahrrichtung
Translation Z Z Vertikale Bewegung entgegen der Gravitation (↑)
Rotation um X (Rx) ω (Omega) Rollen
Rotation um Y (Ry) φ (Phi) Nicken
Rotation um Z (Rz) θ (Theta) Gieren

 

Gibt es ein einheitliches Koordinatensystem für die Achsbezeichnung bei Positionieraufgaben? 

Leider nicht. Insbesondere bei Rotationsfreiheitsgraden gibt es keine weltweit einheitliche Bezeichnung, und die Namenskonvention hängt stark vom Fachgebiet ab (z. B. Mechanik, Robotik, Luftfahrt, Maschinenbau, CNC-Technik, Optik).
Ich gebe Dir unten eine Übersicht, wie die Drehachsen (rotatorischen Freiheitsgrade) üblicherweise genannt werden – gegliedert nach Anwendungsbereichen.

1. Allgemeine mechanische Definition (DIN / ISO / Robotik / Mechatronik)

  • Translationsachsen: X, Y, Z
  • Rotationsachsen:
    • Rx – Rotation um X-Achse (→ Rollbewegung)
    • Ry – Rotation um Y-Achse (→ Nickbewegung)
    • Rz – Rotation um Z-Achse (→ Gierbewegung)

Diese Notation ist klar, eindeutig und in der Mechatronik, Robotik und Kinematik-Analyse weit verbreitet.
Sie wird z. B. in Denavit-Hartenberg-Parametern, CAD-Systemen (SolidWorks, Creo, Siemens NX) und Robotersprachen (KUKA, FANUC, UR) genutzt.

2. Luft- und Raumfahrt / Navigationssysteme (Eulerwinkel)

  • Roll (φ) – Rotation um X-Achse
  • Pitch (θ) – Rotation um Y-Achse
  • Yaw (ψ) – Rotation um Z-Achse

Diese Bezeichnungen sind stark etabliert, wenn es um Orientierung im Raum geht (z. B. bei Drohnen, Flugzeugen, Gimbals, Kameras).

Um die Verwirrung zu steigern, handelt es sich hier sogar um ein linkshändisches Koordinatensystem. Den Piloten ist täglich bewusst, dass die Gravitation zum Erdmittelpunkt zeigt und haben die Z-Koordinate deswegen positiv nach unten definiert.

Die Maschinenbauer finden das nicht positiv. Dort zeigt Z nach oben.

3. CNC-Technik / Werkzeugmaschinen (DIN 66217, ISO 841)

Hier ist die konventionelle Maschinenachsenbezeichnung:

Achse Bewegung Beschreibung Beispiel
X, Y, Z Translation Linearachsen Werkstückbewegung oder Werkzeugvorschub
A Rotation um X z. B. Schwenktisch, Rundachse  
B Rotation um Y z. B. Schwenkkopf  
C Rotation um Z z. B. Drehtisch  

Das ist die gängige Nomenklatur für Bearbeitungszentren, Drehtische, Hexapoden usw.

4. Optik / Messtechnik / Präzisionsmechatronik

In hochpräzisen Positioniersystemen wird oft die mathematisch saubere Notation aus der Kinematik bevorzugt:

  • Translationen: X, Y, Z
  • Rotationen: θx, θy, θz
    oder auch φx, φy, φz

Diese Schreibweise ist vorteilhaft, wenn die Rotationen im Mikrorad- oder µrad-Bereich angegeben werden (z. B. bei Taumel, Verkippung, Winkelfehlern).

Ja. Viele Mehrachssysteme sind modular aufgebaut und lassen sich an veränderte Anforderungen anpassen. Bereits in der Auslegung wird darauf geachtet, Erweiterungen, Umbauten oder funktionale Anpassungen zu ermöglichen.

  • Integration zusätzlicher Prozessköpfe
    • z. B. Mess-, Prüf-, Bearbeitungs- oder Handlingmodule
  • Austausch oder Ergänzung von Achsen und Traversen
    • Erweiterung des Arbeitsraums
    • Anpassung an neue Bewegungsprofile
  • Anpassung der Systemarchitektur
    • Umrüstung von Stapel- auf Portal- oder Gantry-Strukturen (anwendungsabhängig)
  • Mechanische Modifikationen
    • Anpassung von Verfahrlängen, Lastaufnahmen oder Schnittstellen
  • Optionale Funktions- und Ausstattungsupgrades
    • Encoder, Messsysteme, Bremsen
    • kundenspezifische Oberflächen und Beschichtungen
  • Anpassung an neue Prozess- oder Umgebungsanforderungen
    • Reinraum- oder Vakuumumgebungen
    • Life-Science-, Optik- oder Halbleiteranwendungen

Der Grad der Modularität hängt von der jeweiligen Systemarchitektur, den Genauigkeitsanforderungen und dem Einsatzbereich ab. In vielen Fällen ist eine nachträgliche Erweiterung wirtschaftlich sinnvoller als eine komplette Neuentwicklung.

  • Optimale Systemarchitektur: Auswahl geeigneter Architekturtypen (z. B. Stapel, Portal, Gantry) passend zur Anwendung
  • Gezielte Materialwahl: Einsatz strukturstabiler Materialien zur Minimierung von Schwingungseffekten
  • Durchdachte Konstruktionsprinzipien: Steife Strukturen, kurze Kraftflüsse und symmetrischer Aufbau
  • Hohe Eigenfrequenz: erleichtert das Ausregeln des Systems, reduziert die Empfindlichkeit gegenüber äußeren Störeinflüssen
  • Ergebnis:
    • bessere Dynamik
    • höhere Positioniergenauigkeit
    • stabiler Betrieb auch bei hohen Beschleunigungen

Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Achskombinationen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - auf Anfrage bis ISO 2 - 1 - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Stages    Technischen Berater kontaktieren

Materialien

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet überwiegend Aluminium für die Struktur mehrachsiger Positioniersysteme.
In speziellen Fällen sind Stahl und auch Titan (z. B. magnetfreie Systeme) möglich.

Der Grund: Aluminium führt lokale Erwärmungen effizient ab, sodass sich das System schnell in einen thermisch eingeschwungenen Zustand einstellt – eine wesentliche Voraussetzung für stabile und hochgenaue Positioniersysteme.

Die geringere Steifigkeit von Aluminium im Vergleich zu Stahl wird konstruktiv kompensiert, z. B. durch:

  • eine leicht erhöhte Bauhöhe der Tische
  • den Einsatz von Hohlprofilen

Wichtig: Ein Aluminium- und ein Stahlbalken mit identischer Geometrie weisen unter Eigengewicht die gleiche Durchbiegung auf. Für spezielle Anforderungen – z. B. magnetfreie Anwendungen – kommen auch Titan-Ausführungen zum Einsatz.

Funktionale Oberflächen und Beschichtungen

Neben Standardoberflächen stehen zahlreiche kundenspezifische Oberflächen- und Beschichtungskonzepte zur Verfügung.
Diese sind gezielt darauf ausgelegt, sehr hohe Reinraumklassen zu erreichen – bis ISO 1–2, abhängig von Anwendung und Prozess.

Zur Erfüllung anspruchsvoller Prozessanforderungen entwickeln und qualifizieren wir anwendungsspezifische Funktionsbeschichtungen, unter anderem:

  • Nickel-Beschichtungen
  • PTFE- & KEPLA®-Beschichtungen
  • Fluorierte Schmierstoffe
  • Dicronite® / Dry-Film-Beschichtungen
  • Applikationsspezifische Beschichtungs-Kombinationen


Darüber hinaus sind verfügbar:

  • eloxiert (gereinigt)
  • alternative Farb-Eloxale
  • Aluminium blank, gereinigt
  • Bilatal
  • Nickel

Diese Oberflächen eignen sich z. B. für hohe Reinheitsanforderungen, chemische Beständigkeit (Life Science) oder prozesskritische Umgebungen.

Warum Funktionsbeschichtungen entscheidend sind (Vorher → Nachher)

  • Standardoberfläche → EUV-taugliche Oberfläche
  • Reflektierend → nicht reflektierend, minimiertes Streulicht
  • Begrenzte Gleitfähigkeit → maximales Gleiten & reduzierter Verschleiß
  • Basisschutz → chemische & korrosive Beständigkeit
  • One-size-fits-all → kostenoptimierte, applikationsspezifische Performance

Sonderoberflächen sind häufig erforderlich für UV / DUV / EUV-Anwendungen (Röntgen- oder Gamma-Anwendungen auf Anfrage).

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Mit dem Absenden dieses Formulars bestätige ich, dass ich die Datenschutzerklärung von Steinmeyer zur Kenntnis genommen habe.

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