XYZ Positioniersystem mit XY Stage (Reinraum ISO 6) | XY Kreuzrolle, Kugelgewindetrieb, Schrittmotor | Z Gleitgewindetrieb | Hub 305 x 305 x 200 mm
XYZ Mehrachs-Portale

782453:024.26

Modulares, reinraumtaugliches 3-Achs-System

Dieses Positioniersystem besteht aus der XY-Stage KT470 auf einer Granitstruktur mit manueller Z-Vertikaleinheit. Diese Kombination eignet sich für den flexiblen und modularen Aufbau von Produktionsanlagen / Inline-Prozessen und kann wahlweise mit Dreh- oder motorisierten Z-Achsen erweitert werden.

Ideal für flexiblen den Auf- und Ausbau von Reinraumanwendungen

Halterung für wechselbare Prozessköpfe (Mikroskop, Sensor, ...)

Flexible Wartung durch den schnellen Systemaustausch auf der Granitstruktur

Optionen:

Erweiterbare Verfahrwege XY 200 - 350 mm, Z 200 - 400 mm
Anpassung an den Prozess: Apertur, Probenhalterung, Erweiterung der Z-Achse
Individueller Aufbau mit Gestell, Schwingungsisolierung, Umhausung, etc.
Kundenspezifische Entwicklung mi 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Anwendungsfelder

Positionierung von Mikroskopen mit Probenzuführung, Inspektion bis Reinraum ISO 6 bis 12 inch / 300 x 300 mm, Interferometrie und Metrologie, Mikroskopie, Materialprüfung, Probecards und Leiterplatten, Qualitätssicherung, Mikroskopie im Reinraum, Oberflächenprüfung, Wafer Inspektion

Spezifikationen

782453:030.26		X	Y	Z
Standard System		KT470-SM	KT470-SM	-
Verfahrweg	[mm]	305	305	200
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 2.3	± 2.3	14
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 3.3	± 3.3	20
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	20	20	-
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	40	40	-
Max. Last	[N]	227	227	196
Gewicht	[kg]	325
Max. Probengröße	[Ø]	12 inch / 300 mm
Länge x Breite x Höhe	[mm]	500 x 950 x 740
Spindel Typ		Kugelgewindetrieb 1214.511/1.12.361.412 P5P / 225177		Gleitgewindetrieb
Spindel Steigung		1	1
Führung		Kreuzrolle	Kreuzrolle
Motor		Schrittmotor	Schrittmotor	Kurbel
Feedback		Open Loop	Open Loop
Optionale Zusatzausstattung		Verfahrwege 200 - 350 mm, Adaptionsplatte, Chuck, Grundplatte (Granit / Aluminium), Gestell, Umhausung, angepasste Vibrationsentkopplung mittels dämpfender Gummizwischenlage oder pneumatischer Dämpfern Sicherheitskonzept und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgitter, Laserscanner, STO, SLS)
Reinraum Varianten		bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Strahlung Varianten		UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.