XYZ Linear-Lift-Positionierer
XYZ Positioniertische - kompakt gestapelt

782300:143.26

Kompakter XYZ Linear-Lift-Positionierer für dynamische Präzisionsaufgaben

Das XYZ-Positioniersystem kombiniert zwei hochdynamische Linearstages für X- und Y-Bewegungen mit einem vertikalen Hubtisch für die Z-Achse zu einem kompakten Mehrachssystem. Die Plattform ermöglicht schnelle und hochpräzise lineare Positionierungen in drei Freiheitsgraden und eignet sich ideal für Scan-, Inspektions-, Justage- und Automatisierungsaufgaben. Die X- und Y-Achsen werden durch dynamische Linearmotoren (eisenbehaftet) angetrieben, während die Z-Achse mit AC-Servo und Kugelgewindetrieb eine stabile vertikale Positionierung ermöglicht.

Verfahrwege von 650 mm (X), 300 mm (Y) und 25 mm (Z)

Wiederholgenauigkeit bis ± 0,4 µm in X/Y und ± 0,7 µm in Z

Hochdynamisch bis 1580 mm/s

Dynamische Linearmotoren für schnellen & hohen Durchsatz

Hubachse mit Kugelgewindetrieb für hochstabile vertikale Fokus- und Positionieraufgaben

Linearmesssysteme auf allen Achsen, optional mit Auflösungen bis 0,001 µm

Optionen:

Integration eines Drehtisches DT240 für zusätzliche rotatorische Freiheitsgrade
Probenhalter, kundenspezifische Adaptionsplatten und Prozessaufnahmen
Umhausung sowie integrierte Sicherheitskonzepte (Not-Aus, Türschalter, Lichtgitter, Laserscanner, STO, SLS)
Reinraumvarianten bis ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten für Strahlung: UV (DUV / EUV / Röntgen / Gamma auf Anfrage)
Individuelle Anpassung an Scan-, Inspektions- oder Automatisierungsprozesse

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Das modulare XYZ-System lässt sich flexibel an unterschiedliche Prozessanforderungen anpassen. Erweiterungen umfassen zusätzliche Rotationsachsen, kundenspezifische Schnittstellen für Sensoren, Kameras oder Prozesswerkzeuge sowie mechanische und sicherheitstechnische Integration in bestehende Anlagen. Durch den modularen Aufbau können Dynamik, Präzision und Funktionalität optimal auf die jeweilige Anwendung abgestimmt werden.

Anwendungsfelder

Optische Inspektionssysteme, automatisierte Scanprozesse, Mikroskopie, Sensorpositionierung, Präzisionsmontage, Halbleiter- und Waferinspektion, Laserbearbeitung, Material- und Oberflächenanalyse, Laborautomation, Forschung & Entwicklung, industrielle Prüf- und Automatisierungssysteme

Spezifikationen

782300:143.26		X	Y	Z
Standard System		PLT320-DLM-L	PLT240-DLM-L	HT240-AC-L
Verfahrweg	[mm]	650	300	25
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 0.4	± 0.4	± 0.7
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 0.5	± 0.5	± 1.2
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	790	530	8
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	1580	1060	16
Max. Last	[N]	150	150	410
Gewicht	[kg]	135
Länge x Breite x Höhe	[mm]	1160 x 710 x 320
Antrieb				Kugelgewindetrieb
Spindel Typ				1412.547/1.12.145.175 P3P
Spindel Steigung				1
Führung		Profilschiene	Profilschiene	Profilschiene
Motor		Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)	Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)	AC Servo
Feedback		Linearmesssystem	Linearmesssystem	Linearmesssystem
Messsystem Auflösungen		0,1 µm, optional bis zu 0,001 µm
Optionale Zusatzausstattung		Drehtisch (DT240), Bremse, Probenhalter, Umhausung, Sicherheitskonzept und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgitter, Laserscanner, STO, SLS)
Reinraum Varianten		bis Reinraum Klasse ISO 6 (auf Anfrage)
Strahlung Varianten		UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.