MP700-3 Flacher 3D Aligner | XYRz Linearmotor, Luftlager | Apertur 730 mm | Last 28 kg | Hub 5 x 5 mm x 5°
XY Theta System

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MP700-3 Flacher 3D Aligner | XYRz Linearmotor, Luftlager | Apertur 730 mm | Last 28 kg | Hub 5 x 5 mm x 5° - XY Theta System

 

Parallel-Kinematischer 3D-Aligner mit großer Apertur

Mit diesem flachen Aligner werden zwei translative Bewegungen von ± 5 mm in der Ebene und eine Rotation um die Vertikale von ± 3° realisiert. Die Bewegung R (Theta) resultiert aus der XY-Bewegungskombination. Der Aligner ist für Lasten bis 28 kg ausgelegt.

  • Ideal zur hochpräzisen Ausrichtung von großer Substrate, Masken, Rahmen
  • Ausgelegt für große Proben mit einer Apertur von 730 x 730 mm
  • Hohe Wiederholgenauigkeit bis 0.4 µm / ± 0.0002° bei Lasten bis 28 kg
  • Ultra flache Bauweise von 990 x 1090 x 225 mm
  • Wartungs- und partikelarm durch Luftlager und Direktantrieb

Optional:

  • Anpassung an den Prozess: Apertur, Probenhalterung, Erweiterung der Z-Achse
  • Auslegung für Reinraum ISO 14644-1 bis Klasse 5 (höher auf Anfrage)
  • Individueller Aufbau mit Gestell, Schwingungsisolierung, Umhausung
  • Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die anwendungsspezifische Positionieraufgabe.

Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests
 

Anwendungsfelder

Positionierung großer Substrate, Masken, Rahmen, Sieben, Druckplatten in partikelarmer Umgebung, Halbleiterprinter zum Aufbringen von Schichtkomponenten, UV Drucker, Halbleiterinspektion, Halbleiter Justage, Ausrichtung von Proben, Analyse, Auf- und Durchlichtmessungen, Transfermessungen

 

782459:003.26   X Y Rz
Verfahrweg [mm; deg] ± 5 ± 5 ± 3
Wiederholgenauigkeit unidirektional [µm; deg] ± 0.4 ± 0.4 ± 0.0002
Wiederholgenauigkeit bidirektional [µm; deg] ± 0.7 ± 0.7 ± 0.0003
Positioniergeschwindigkeit [mm/s; deg/s] 50 50 10
Max. Geschwindigkeit [mm/s; deg/s] 100 100 20
Max. Last [N] 5 5 100
Gewicht [kg] 63
Länge x Breite x Höhe [mm] 990 x 1090 x 225
Apertur [mm] 730 x 730    
Führung   Luftlager Luftlager Luftlager
Motor   Dynamischer Linearmotor (eisenlos) Dynamischer Linearmotor (eisenlos) Dynamischer Linearmotor (eisenlos)
Feedback   Linear Encoder Linear Encoder Linear Encoder
Material   Aluminium eloxiert
Varianten Reinraum    bis Reinraum Klasse ISO 5 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung    UV
Varianten Magnetismus    magnetisch

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Achskombinationen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Stages    Technischen Berater kontaktieren

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Mehrachsigen Positioniersystemen, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genau Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Tische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch! 
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.

Welche Oberflächen sind verfügbar?

Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.

Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:

  • Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
  • Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
  • Piezomotoren wie Piezo-Legs® oder Nanomotion®.

Als Feedback-System werden in den meisten Mehrachs-Positioniersystemen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur® bzw. Zeromet® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.

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