MP53-2-1 Miniatur-XY-Phi-Positioniersystem, kartesisch mit Rz-Korrektur, magnetfrei | XY-Rz Piezomotor, Linearmesssystem
XY Theta System

782300:056.26

Kleinste Stellinkremente in X und Y und Rotation um Z

Phi-XY-System mit Piezomotor

Dieser Manipulator besteht aus zwei Lineartischen MT53, welche zum XY-System verbunden sind und die Positionierung in der Horizontalen vornehmen. Ein weiterer MT53 wirkt auf eine Drehlagerung.

Festkörpergelenk zum Ausrichten von Teilen

Das Drei-Achs-System ist zum Ausrichten von Teilen und Proben gedacht. Da für solche Korrekturbewegungen nur geringe Wege von wenigen Millimetern beziehungsweise Grad ausreichen, lässt sich mit einem Lineartisch eine Drehbewegung erzeugen, wenn dieser mittels eines Festkörpergelenkes seine Bewegung an einen ansonsten passiven Drehtisch überträgt. Ein solches Festkörpergelenk hat den Vorteil, dass es die Präzision des Lineartisches vollständig auf den Drehtisch überträgt. Wenn die Auslenkung unter 5 Grad bleibt, bleibt auch die Steifigkeit dieses Gelenkes in ausreichendem Maße erhalten, um Bewegungen im Nanometer-Bereich in Zug- und auch Druckrichung zu übertragen.

Geeignet für den Einsatz in der Halbleiterindustrie

Je nach Auflösung des im Tisch eingebauten Messystems sind Wiederholgenauigkeiten von minimal 30 nm erreichbar. Bitte beachten Sie, dass dafür ein höher auflösendes Messsystem verwendet werden muss als in der hier spezifizierten Standardausführung. Von Interesse ist der Manipulator vor allem in automatisierten Anlagen der Mikromontage oder für Experimentalaufbauten in der Forschung. Der Manipulator eignet sich sehr gut zum Ausrichten von Wafern in der Halbleiterindustrie. Zusätzlich eigenet sich der Manipulator für den Einsatz im Vakuum und ist in einer entsprechenden Ausführung erhältlich.

Spezifikationen

782300:056.26		X	Y	Rz
Standardsystem		MT53-PM	MT53-PM	MT53-PM
Verfahrweg	[mm; deg]	10	10	10
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 0.4	± 0.4	± 0.001
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 0.7	± 0.7	± 0.002
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	5	5	10
Max. Geschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	10	10	20
Max. Last	[N]	5	5	5
Motor		Piezo Motor	Piezo Motor	Piezo Motor
Führung		Kreuzrolle	Kreuzrolle	Kreuzrolle
Feedback		linearmesssystem	linearmesssystem	linearmesssystem
Länge x Breite x Höhe	[mm]	121 x 85 x 76

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Passende Controller

FMC400/450

Voll bahnfähiger Mehrachscontroller, einfaches Erstellen von eigenen Programmen.

SPS

Wir unterstützen die Anbindung unserer Systeme an SPS-Architekturen z.B. Beckhoff

Verwendete Standard Komponenten

MT53-PM

Lineartisch 53 x 53 x 20 mm, Hub bis 10 mm, Repro ± 0.2 µm, Last 0.5 kg, Speed 10 mm/s

Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Achskombinationen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Stages Technischen Berater kontaktieren

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Mehrachsigen Positioniersystemen, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genau Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Tische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch!
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.

Welche Oberflächen sind verfügbar?

Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.

Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:

Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
Piezomotoren wie Piezo-Legs^® oder Nanomotion^®.

Als Feedback-System werden in den meisten Mehrachs-Positioniersystemen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur^® bzw. Zeromet^® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.