MP410-3 Hochvakuum Aligner bis 10E-6 mbar | XYRz Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Last 5 kg | Hub 15 x 15 x 5°
XY Theta System
782476:001.26
Flächen-Aligner mit Schrittmotor und Kugelgewindetrieb
Mit diesem Aligner werden zwei translative Bewegungen von 15 mm in der Ebene und eine Rotation um die Vertikale von bis zu ± 5 Grad realisiert. Die Bewegung R () resultiert aus der XY-Bewegungskombination. Der Aligner ist für Lasten bis zu 25 kg ausgelegt. Die Durchlichtöffnung erlaubt eine Transfermessung.
Außergewöhnliche Präzision im Hochvakuum
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Optional:
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Individuelle Erweiterungen und Anpassungen
Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die anwendungsspezifische Positionieraufgabe.
Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests
Anwendungsfelder
HV / UHV Wafer-Inspektion, Halbleiterinspektion, Halbleiter Justage, Ausrichtung von Proben im Hochvakuum, Analyse, Auf- und Durchlichtmessungen, Transfermessungen, Montageaufgaben, Ausrichten von Teilen vor dem Fügen
782476:001.26 | X | Y | Rz | |
Standardsystem |
| LA85 | LA85 | LA85 |
[mm; deg] | ± 15 | ± 15 | ± 5 | |
[µm; deg] | ± 1.6 | ± 1.6 | ± 0.001 | |
[µm; deg] | ± 2.1 | ± 2.1 | ± 0.002 | |
[mm/s; deg/s] | 30 | 30 | 15 | |
| Spitzengeschwindigkeit | [mm/s; deg/s] | 60 | 60 | 30 |
[N] | 250 | 250 | 250 | |
Motor |
| Schrittmotor | ||
Antrieb |
| Kugelgewindetrieb | Kugelgewindetrieb | |
Feedback | Open Loop | |||
| Apertur | [mm] | 235 | ||
| Länge x Breite x Höhe | [mm] | 545 x 484 x 95 | ||
FMC400/450
Voll bahnfähiger Mehrachscontroller, einfaches Erstellen von eigenen Programmen.
FMC220
Vielfältig kombinierbarer Controller, ideal für Laboranwendungen, Steuerung von 1 – 128 Achsen gleichzeitig
FMC250/280
Mehrachscontroller mit erhöhtem Strom und Spannung für Punkt–zu-Punkt Positionierung.
SPS
Wir unterstützen die Anbindung unserer Systeme an SPS-Architekturen z.B. Beckhoff
ACS
Wir unterstützen die Integration unserer Systeme in Ihre ACS-Umgebung
Verwendete Standard Komponenten
LA85-SM
KGT 1214
Verwandte Produkte
Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Achskombinationen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:
Übersicht Reinraum & Vakuum Stages Technischen Berater kontaktieren
Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Mehrachsigen Positioniersystemen, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genau Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Tische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch!
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.
Welche Oberflächen sind verfügbar?
Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.
Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:
- Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
- Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
- Piezomotoren wie Piezo-Legs® oder Nanomotion®.
Als Feedback-System werden in den meisten Mehrachs-Positioniersystemen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur® bzw. Zeromet® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.
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