MP210-3 XYZ-Positionierer, temperaturstabil 0 - 40°C | DC-Motor, Gleitgewindetrieb, Linearmesssystem | Apertur 150 mm / 5" | Hub 25 x 25 x 25 mm
XY Theta System
782327:001.26, 782327:002.26
Kompakter XYZ-Versteller für Proben bis 5"
Dieses XYZ System erlaubt die Positionierung eines Probenhalters für hochstabile beidseitige Auflicht- und Durchlichtmessungen. Das Beladen und Fokussieren wird durch die Vertikalbewegung mit einem Hub von 25 mm realisiert. Der Halter ist für runde Proben wie Lichtleiterfasern oder kleinere Wafer ausgelegt und kann auf diverse Größen und Prozesse angepasst werden.
Hohe Präzision bei Temperaturunterschieden
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Optional:
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Individuelle Erweiterungen und Anpassungen
Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests
Referenzen
Positionierung von Lichtleiterfasern für das Leibnitz-Institut für Astrophysik Potsdam | Versuchsaufbau Labor/Teleskop PEPSI Arizona | Einsatz Nachts (ca. 0 - 40°C), 3.500 m ü.n.N, geringe Luftfeuchte
Anwendungsfelder
Hochstabile Inspektion von Proben bis 5 inch / 140 mm unter Temperaturschwankungen, Interferometrie und Metrologie, Mikroskopie, Materialprüfung, AOI, Qualitätssicherung, Wafer, Lichtleiterfasern und Chipträgern, Oberflächenprüfung
782327:001.26, 782327:002.26 | X | Y | Z | |
Standardsystem |
| MT63 | MT63 | MT63 |
Verfahrweg | [mm; deg] | 25 | 25 | 25 |
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm; deg] | ± 0.8 | ± 0.8 | ± 0.8 |
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm; deg] | ± 3.8 | ± 3.8 | ± 3.8 |
Positioniergeschwindigkeit | [mm/s; deg/s] | 1.8 | 1.8 | 1.8 |
Spitzengeschwindigkeit | [mm/s; deg/s] | 3.6 | 3.6 | 3.6 |
Max. Last | [N] | 10 | 11 | 11 |
Motor |
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Antrieb |
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Feedback | ||||
Länge x Breite x Höhe | [mm] | 206 x 259 x 137 mm |

FMC400/450
Voll bahnfähiger Mehrachscontroller, einfaches Erstellen von eigenen Programmen.

FMC250/280
Mehrachscontroller mit erhöhtem Strom und Spannung für Punkt–zu-Punkt Positionierung.

FMC220
Vielfältig kombinierbarer Controller, ideal für Laboranwendungen, Steuerung von 1 – 128 Achsen gleichzeitig

SPS
Wir unterstützen die Anbindung unserer Systeme an SPS-Architekturen z.B. Beckhoff
Verwendete Standard Komponenten
MT63-DC

Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Achskombinationen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:
Übersicht Reinraum & Vakuum Stages Technischen Berater kontaktieren
Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Mehrachsigen Positioniersystemen, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genau Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Tische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch!
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.
Welche Oberflächen sind verfügbar?
Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.
Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:
- Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
- Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
- Piezomotoren wie Piezo-Legs® oder Nanomotion®.
Als Feedback-System werden in den meisten Mehrachs-Positioniersystemen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur® bzw. Zeromet® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.
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