MP210-3 XYZ-Positionierer, temperaturstabil 0 - 40°C | DC-Motor, Gleitgewindetrieb, Linearmesssystem | Apertur 150 mm / 5" | Hub 25 x 25 x 25 mm
XY Theta System

782327:001.26, 782327:002.26

 

Kompakter XYZ-Versteller für Proben bis 5"

Dieses XYZ System erlaubt die Positionierung eines Probenhalters für hochstabile beidseitige Auflicht- und Durchlichtmessungen. Das Beladen und Fokussieren wird durch die Vertikalbewegung mit einem Hub von 25 mm realisiert. Der Halter ist für runde Proben wie Lichtleiterfasern oder kleinere Wafer ausgelegt und kann auf diverse Größen und Prozesse angepasst werden.

Hohe Präzision bei Temperaturunterschieden

  • Ideal für enge Bauräume und schwankende Temperaturen von 0 - 40°C
  • Stellwege bis 25 mm auf kleinstem Raum
  • Absolute Positionsstabilität, auch bei Motor-Abschaltung
  • Gleichbleibende Messergebnisse durch eine hohe Wiederholgenauigkeit

Optional:

  • Anpassung an den Prozess: Prüfling, Probenhalterung, Zuführung, Sensor.
  • Auslegung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Individueller Aufbau mit Gestell, Schwingungsisolierung, Umhausung
  • Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests
 

Referenzen

Positionierung von Lichtleiterfasern für das Leibnitz-Institut für Astrophysik Potsdam | Versuchsaufbau Labor/Teleskop PEPSI Arizona | Einsatz Nachts (ca. 0 - 40°C), 3.500 m ü.n.N, geringe Luftfeuchte
 

Anwendungsfelder

Hochstabile Inspektion von Proben bis 5 inch / 140 mm unter Temperaturschwankungen, Interferometrie und Metrologie, Mikroskopie, Materialprüfung, AOI, Qualitätssicherung, Wafer, Lichtleiterfasern und Chipträgern, Oberflächenprüfung

 

782327:001.26, 782327:002.26

 

X

Y

Z

Standardsystem

 

MT63

MT63

 MT63

Verfahrweg

[mm; deg]

25

25

25
Wiederholgenauigkeit unidirektional

[µm; deg]

± 0.8

± 0.8

± 0.8

Wiederholgenauigkeit bidirektional

[µm; deg]

± 3.8

± 3.8

± 3.8

Positioniergeschwindigkeit

[mm/s; deg/s]

1.8 1.8

1.8

Spitzengeschwindigkeit

[mm/s; deg/s]

3.6 3.6 3.6
Max. Last

[N]

10

11 11

Motor

 

DC-Motor

DC-Motor

 

DC-Motor

 

Antrieb

 

Gleitgewindetrieb

Gleitgewindetrieb

Gleitgewindetrieb

Feedback

 

Linearmesssystem

Linearmesssystem

Linearmesssystem

Länge x Breite x Höhe

[mm]

206 x 259 x 137 mm

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.


Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Achskombinationen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Stages    Technischen Berater kontaktieren

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Mehrachsigen Positioniersystemen, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genau Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Tische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch! 
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.

Welche Oberflächen sind verfügbar?

Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.

Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:

  • Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
  • Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
  • Piezomotoren wie Piezo-Legs® oder Nanomotion®.

Als Feedback-System werden in den meisten Mehrachs-Positioniersystemen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur® bzw. Zeromet® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.

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