6-Achs Miniatur-XYZ-Theta-Phi-Delta Positioniersystem (Reinraum ISO 5) | Tripod, Drehtisch, XY- Stage, Hexapod Alternative | Hub XYZ 30 x 30 x 20 mm, RxRy 4°, Rz 360°
Kompakte Mehrachssysteme

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6-Achs-Ausrichtung von Wafern und Optiken bis 12"

Der 6-Achs-Manipulator besteht aus einem Kreuztisch in der Horizontalen sowie einem Tripod für Vertikalhub und zwei Kippungen und kombiniert damit die Stärken kartesischer und parallelkinematischer Konstruktionen in einem System. Die kartesische XY-Verstellung realisiert Verfahrwege von ± 15 mm, die Vertikalachse des Tripods ist für Hübe von ±10 mm ausgelegt. Die rotatorischen Achsen Rx und Ry ermöglichen Kippungen um ± 2°, die Drehung um die Vertikale Rz beträgt 360°.

Automatisierte Reinraum-Inspektion

Ideal zur automatisierten Inspektion von Wafern und Optiken bis 300 mm / 12"

Hohe Wiederholgenauigkeit von ± 2,5 µm bzw. ± 0,005°

Herausragende Präzision, Steifigkeit und Kompaktheit bei 520 x 600 x 155 mm

Ausgelegt für den Einsatz im 3-Schicht-Betrieb bis Reinraum Klasse ISO 5

Optionen:

Sonderausführung für Proben bis 450 mm / 18"
Verschiedene Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
Modulares Mehrachssystem mit kundenspezifischen / auswechselbaren Prozessköpfen
Verschiedene Probenhalter, Einbindung in Workflows
Anwendungsspezifisch getestet und sofort einsatzbereit mit Plug-and-Play-fähigem Motion Controller inkl. Beispielsoftware
Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die anwendungsspezifische Positionieraufgabe.

Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsfelder

Halbleiterinspektion, Ausrichten, Alignment, Wafer, Optiken, Manipulator, Parallelkinematik, Testing und Bonding auf Wafern und PCB, Kombinationen von optischer Inspektion und Bearbeitung z.B. beim Chip-on-Board Bonding (Messmikroskop und Laserlöten)

Spezifikationen

786015:009.26		X	Y	Z	Rx	Ry	Rz
Standardsystem		MT95	MT95	3x MT95	3x MT95	3x MT95
Verfahrweg	[mm; deg]	30	30	20	4	4	360 x n
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 1.5	± 1.5	± 1.5	0.0004	0.0004	0.05
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 3.5	± 3.5	± 3.5	0.001	0.001	0.1
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	1.1	1.1	1.1	0.3	0.3	100
Max. Geschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	2	2	2	0.5	0.5	200
Max. Last	[N]	65	65	100	65	65	20
Motor		DC-Motor	DC-Motor	DC-Motor	DC-Motor	DC-Motor	Schrittmotor
Antrieb		Kugelgewindetrieb 1112, Getriebe, Riemen	Kugelgewindetrieb 1112, Getriebe, Riemen	Kugelgewindetrieb 1112, Getriebe, Riemen	Kugelgewindetrieb 1112, Getriebe, Riemen	Kugelgewindetrieb 1112, Getriebe, Riemen	Riemen
Feedback		Motor-Encoder	Motor-Encoder	Motor-Encoder	Motor-Encoder	Motor-Encoder	ohne
Apertur Durchmesser	[mm]	250 (optional größer als Sonderausführung)
Max. Durchmesser der Probe	[mm] [inch]	300 12 (450 mm / 18" optional als Sonderausführung)
Länge x Breite x Höhe	[mm]	520 x 600 x 155

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.