KLT300
Vakuum Sonderbaugruppen

782475:002.26

Kreuztisch mit Stabilität im Nanometerbereich

Sehr stabiler Kreuzdurchlichttisch mit je 10 mm Hub. Lasten bis 20 kg können bewegt werden. Das System läuft vollkommen schmierstofffrei. Ziel war es, maximale Steifigkeit zu erreichen. Dies wird durch den Einsatz von Kreuzrollenführungen und zusätzlichen Piezobremsen erreicht. Die Bremsen greifen nach dem Erreichen der der Zielposition ein und stabilisieren den Tisch zusätzlich.


Ansprechpartner Vakuum-Sonderbaugruppen

Dipl.-Ing. Elger Matthes

Tel.: +49 (0) 351 88585-0

elger.matthes(at)steinmeyer.com