MT53-PM

Mikrotisch mit Kreuzrollenführung und Piezomotor für Schrittweiten im Nanometerbereich.

Hochauflösender Mikrotisch

Der kleinste Tisch im Produktportfolio von Steinmeyer Mechatronik überzeugt durch höchste Auflösungswerte. Mit seiner miniaturisierten Bauform ist er ideal für Anwendungen mit geringem Platzbedarf und hohen Ansprüchen an Stabilität.

Optimale Schrittweiten dank Piezomotor

Ausgestattet ist der MT53 mit Kreuzrollenführungen und einem Piezoantrieb, welcher Schrittweiten im Nanometerbereich ermöglicht. In der Vakuum- und nicht-magnetischen Version ist dieser Mikrotisch perfekt geeignet für Anwendungen in anspruchsvollen Umgebungen.

Ideal für Mikrobearbeitung und Mikromontage

Der MT53 findet seinen Einsatz insbesondere in Applikationen der Mikrobearbeitung und Mikromontage. Auch für Anwendungen in Forschung und Entwicklung oder in der Halbleiterindustrie lässt er sich ideal einsetzen.

Modell MT53-10-PM- L
Verfahrweg[mm] 10
Wiederholgenauigkeit unidirektional[μm]± 0.2
Wiederholgenauigkeit bidirektional[μm]± 0.3
Positioniergenauigkeit[μm]± 0.8
Ebenheitsabweichung[μm]± 0.5
Geradheitsabweichung[μm]± 0.4
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]5
Max. Beschleunigung[m/s2]0.1
Max. Last Fx[N]5
Max. Last Fy[N]8.8
Max. Last Fz[N]8.8
Max. Lastmoment Mx[Nm]0.2
Max. Lastmoment My[Nm]0.09
Max. Lastmoment Mz[Nm]0.07
Nicken[µrad]± 30
Gieren[µrad]± 19
Auflösung[µm]0.1
Gewicht[kg]0.1
Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern.


Ansprechpartner Deutschland Nord

Tobias Zilian

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tobias.zilian(at)steinmeyer.com

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