LT300
Vakuum-Standardachsen

782475:035.26, 782475:006.26

Präziser Hochlast Lineartisch

HV / UHV / EUV, 50 - 100 mm Verfahrweg, 0.5 µm Wiederholgenauigkeit, 10 kg Last

  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-11 mbar
  • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
  • Reinraum Klasse 4 nach ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Verfügbar als magnetische Ausführung
  • Sehr hohe Lebensdauer, auch bei Trockenlauf
Optional konfigurierbar:
  • Verfügbar mit Piezobremse
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung
  • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
  • Optional mit Controller FMC400/450


Stabilität im Nanometerbereich trotz hoher Lasten bia 10 kg

Der Lineartisch ist dafür ausgelegt unter extremen Bedin­gungen, wie im Hochvakuum und im Ultra­-Hochvakuum, Lasten mit einer hohen Steifigkeit zu positionieren. Ausgestattet mit einer Piezozangenbremse, erreicht dieses Positioniersystem eine Stabilität im Nanometerbereich.

 

Anwendungsbereiche

Halbleitertechnik im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Waferjustage, Wafer Inspektion, Kamerajustage, Sensorjustage, Inspektion von Kontakten, Ausrichten von Spiegeln, Probing, Vakuumkammern, Forschung, Beamline-Instrumentierung, Elektronikmontage und -inspektion, Hochpräzise Scananwendungen

LT300-50-SM-50-SM-L-100-SM-100-SM-L
Verfahrweg[mm] 5050100100
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 4± 0.5± 4

± 0.5

Positioniergeschwindigkeit[mm/s]5555
Max. Last Fx[N]44444444
Max. Last Fy[N]120120120120
Max. Last Fz[N]120120120120
Länge[mm]360360340340
Breite[mm]300300300300
Höhe[mm]65656060
FeedbackOpen LoopLinearmesssystemOpen LoopLinearmesssystem
Vakuum[mbar]bis 10-11  HV/UHV/EUV
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Schmierung trocken[mbar]bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur[deg]120
Magnetismus Variantenmagnetisch
MotorSchrittmotor
FührungKreuzrolle Edelstahl, hybrid

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.


    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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