LA80
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

782475:038.26, 782475:049.26
LA80 - Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

 

High Speed Linearachse

HV / UHV / EUV, 200 - 500 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, 5 kg Last

  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-11 mbar
  • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar
  • Lebensdauer im Kilometerbereich trotz Trockenschmierung
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
  • Verfügbar als magnetische Ausführung
Optional konfigurierbar:
  • Wahlweise mit und ohne Messsystem
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung
  • Kombinierbar zum schnellen XYZ Transfersystem (z.B. LA90, LA95, LA170)
  • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
  • Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Optional mit Controller FMC400/450

Hohe Lebensdauer trotz Trockenlauf

Diese Linearachse wird als leistungsfähige Komponente für Mehrachssysteme und für hochdynamische Transfersysteme eingesetzt. Sie ermöglicht eine schnelle Positionierung mit extrem hoher Auflösung im Ultrahochvakuum, auch in vertikaler Richtung. Ein Kugelgewindetrieb sorgt für eine hohe Steifigkeit und Stillstandsstabilität bei gleichzeitig hoher Geschwindigkeit. Das System kommt ohne flüssige Schmierstoffe aus und bietet dennoch eine Lebensdauer im Bereich von mehreren Kilometern.
 

Anwendungsbereiche

Hochpräzise Transfersysteme im Ultrahochvakuum unter extrem ultravioletter Strahlung, Halbleiterherstellung, Strahlformung für Belichtungsprozesse, Oberflächenanalyse und Sensorpositionierung, Massenspektrometrie, OLED Beschichtungsprozesse, Schichtdickenmessung und Schichtratenmessung, Oberflächenbeschichtung (Sputtern, Bedampfen), Strahlabgänge, Experimentalaufbauten, Sensor-Anordnungen für Untersuchungen von Proben nahe ihres nativen Zustands
 

Referenzen

OMNY—A tOMography Nano crYo stage | Review of Scientific Instruments 89, 043706 (2018) | https://doi.org/10.1063/1.5020247

 

LA80 -200-SM-200-SM-L-500-SM-500-SM-L
Verfahrweg[mm] 200200500500
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 3± 0.3± 3± 0.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 4± 0.5± 4± 0.5
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]50505050
Max. Geschwindigkeit[mm/s]100100100100
Max. Last Fx[N]49494949
Max. Last Fy[N]49494949
Max. Last Fz[N]9999
Länge[mm]446446706706
Breite[mm]86868686
Höhe[mm]61615151
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Schmierung trocken[mbar]bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur[deg]120
Motor Schrittmotor
Führung Edelstahl hybrid, Kugelumlaufführungen
Feedback Open Loop LinearmesssystemOpen LoopLinearmesssystem
Auflösung Messsystem  0.5 µm 0.5 µm
Zusatzausstattung Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum  bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung  UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus  magnetisch
Varianten Vakuum  alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

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