LA80
Vakuum Linearachsen und Lineartische
782475:038.26, 782475:049.26
High Speed Linearachse
HV / UHV / EUV, 200 - 500 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, 5 kg Last
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Optional konfigurierbar:
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Hohe Lebensdauer trotz Trockenlauf
Diese Linearachse wird als leistungsfähige Komponente für Mehrachssysteme und für hochdynamische Transfersysteme eingesetzt. Sie ermöglicht eine schnelle Positionierung mit extrem hoher Auflösung im Ultrahochvakuum, auch in vertikaler Richtung. Ein Kugelgewindetrieb sorgt für eine hohe Steifigkeit und Stillstandsstabilität bei gleichzeitig hoher Geschwindigkeit. Das System kommt ohne flüssige Schmierstoffe aus und bietet dennoch eine Lebensdauer im Bereich von mehreren Kilometern.
Anwendungsbereiche
Hochpräzise Transfersysteme im Ultrahochvakuum unter extrem ultravioletter Strahlung, Halbleiterherstellung, Strahlformung für Belichtungsprozesse, Oberflächenanalyse und Sensorpositionierung, Massenspektrometrie, OLED Beschichtungsprozesse, Schichtdickenmessung und Schichtratenmessung, Oberflächenbeschichtung (Sputtern, Bedampfen), Strahlabgänge, Experimentalaufbauten, Sensor-Anordnungen für Untersuchungen von Proben nahe ihres nativen Zustands
Referenzen
OMNY—A tOMography Nano crYo stage | Review of Scientific Instruments 89, 043706 (2018) | https://doi.org/10.1063/1.5020247
LA80 | -200-SM | -200-SM-L | -500-SM | -500-SM-L | |
Verfahrweg | [mm] | 200 | 200 | 200 | 200 |
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm] | ± 3 | ± 0.3 | ± 3 | ± 0.3 |
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ± 4 | ± 0.5 | ± 4 | ± 0.5 |
Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 50 | 50 | 50 | 50 |
Max. Last Fx | [N] | 49 | 49 | 49 | 49 |
Max. Last Fy | [N] | 49 | 49 | 49 | 49 |
Max. Last Fz | [N] | 9 | 9 | 9 | 9 |
Länge | [mm] | 446 | 446 | 706 | 706 |
Breite | [mm] | 86 | 86 | 86 | 86 |
Höhe | [mm] | 61 | 61 | 51 | 51 |
Feedback | Open Loop | Linearmesssystem | Open Loop | Linearmesssystem | |
Vakuum | [mbar] | bis 10-11 HV/UHV | |||
Schmierung flüssig | [mbar] | bis 10-8 | |||
Schmierung trocken | [mbar] | bis 10-11 | |||
Max. Ausheiztemperatur | [deg] | 120 | |||
Magnetismus Varianten | magnetisch | ||||
Motor | Schrittmotor | ||||
Führung | Edelstahl hybrid Kugelumlaufführungen |
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