KDT600-EDLM
Kreuztische
XY Kreuztisch mit 385 mm Verfahrweg, Apertur 400 mm, 0.3 µm Wiederholgenauigkeit, 22 kg Last
Scantisch mit großer Durchlichtöffnung
Dieser XY Präzisionskreuztisch ist für höchste Wiederholbarkeit konstruiert. Es lassen sich kostensparend Genauigkeiten mit Kompensation erreichten, die sonst nur Luftlagersystemen vorbehalten sind. Es werden polierte Kreuzrollenführungen für Wiederholbarkeit von Geradheit und Ebenheit von +-0.15 µm verwendet.
Mit dem großen Durchlicht können auch große Substrate von beiden Seiten oder mit Durchleuchtung gemessen werden. Auch bietet es die Möglichkeit einer Differenzmessung zum Ausnutzen der vollen Sensorgenauigkeit in Messanwendungen. Auch bei voll verfahrenem Tisch bleibt immer eine Öffnung von wenigstens 60mm x 60mm erhalten.
Schnellste Scananwendungen mit hoher Beschleunigung
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Anwendungsfelder
Schnelle Scananwendungen und dynamische Bahnfahrten z.B. Halbleiterinspektion, Messanlagen, Automatische optische Inspektion (AOI), Messgeräte, Differenzmessung, Ersatz für Luflagertische
Modell KDT600-EDLM | -385-EDLM | |
Verfahrweg | [mm] | 385 |
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [μm] | ± 0.3 |
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [μm] | ± 0.4 |
Positioniergenauigkeit | [μm] | ± 16.6 |
Ebenheitsabweichung | [μm] | ± 10 |
Geradheitsabweichung | [μm] | ± 1.7 |
Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 330 |
Spitzengeschwindigkeit | [mm/s] | 500 |
Max. Beschleunigung | [m/s2] | 3 |
Max. Last Fx | [N] | 25 |
Max. Last Fy | [N] | 25 |
Max. Last Fz | [N] | 230 |
Max. Lastmoment Mx | [Nm] | 11 |
Max. Lastmoment My | [Nm] | 11 |
Max. Lastmoment Mz | [Nm] | 10 |
Nicken | [µrad] | ± 280 |
Gieren | [µrad] | ± 45 |
Länge | [mm] | 600 |
Breite | [mm] | 600 |
Höhe | [mm] | 120 |
Durchlicht | [mm] | 400 |
Motor | Dynamischer Linearmotor (eisenlos), Ironless Dynamic Linear Motor | |
Feedback | Linearmesssystem, Linear Scale |
FMC 300
Einbau-Modul für dynamische Anwendungen und hohe Lasten und Spannung.
FMC400/450
Voll bahnfähiger Mehrachscontroller, einfaches Erstellen von eigenen Programmen.
FMC 250/280
Mehrachscontroller mit erhöhtem Strom und Spannung für Punkt–zu-Punkt Positionierung.
SPS
Wir unterstützen die Anbindung unserer Systeme an SPS-Architekturen z.B. Beckhoff
Achsen für Reinraum- und Vakuumanwendungen
Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar und Reinraumklasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht unserer Vakuum- und Reinraumsysteme!
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