X-Phi-System für die Positionierung optischer Linsen, Zylinder z.B. Tastschnittmessgerät | X DC-Motor, Kugelgewinde, Kreuzrolle, Linearmessystem | Phi AC-Servo, Winkelmesssystem
Kombinationen Labortische

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X-Phi-System für die Positionierung optischer Linsen, Zylinder z.B. Tastschnittmessgerät | X DC-Motor, Kugelgewinde, Kreuzrolle, Linearmessystem | Phi AC-Servo, Winkelmesssystem - Kombinationen Labortische

Exzellente Stabilität für enorme Auflösungen

Dieses X-Phi-Positionierssystem besteht aus hochpräzisen und langlebigen Standardachsen des Lineartisches PMT160 und für die Drehung den DTS130-HM. Er eignet sich ideal für Messanwendungen, bei denen die Probe präzise in Messposition gefahren wird und damit keine zusätzliche Zuführachse nötig ist.

Hochpräzise und zuverlässige Messergebnisse

  • Ideal zur optischen Vermessung von runden Teilen z.B. Wafer, Optiken
  • Spart die zusätzliche Anschaffung einer Zuführachse ein durch hochgenaue Drehbewegungen mit Hub
  • Hohe Wiederholgenauigkeit bis 0.0017°
  • Fährt 1.9 µm präzise mit X in die Messposition

Optional konfigurierbar:

  • Verfahrwege bis 300 mm
  • Grundplatte aus Granit oder Aluminium
  • Wahlweise mit innen liegendem Maßstab (270 mm)
  • Kombinierbar mit weiteren Drehtischen z.B. DT200
  • Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 möglich
  • Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfigurierten Controller inkl. Beispielsoftware

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus passen wir die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Staub, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Testprotokoll, Lebensdauertests

 

Anwendungsfelder

Ideal für die zweidimensionale optische Erfassung von Rauheiten, Strukturabbildungen, Oberflächenstrukturen, Laboranwendung, Halbleiterinspektion, optische Inspektionssysteme, Qualitätssicherung, Bewegungssystem Tastschnittmessgerät

782300:212.26  X Phi (Rz)
Verwendete
Standard-Komponente 		PMT160-DC DTS130
Verfahrweg

[mm; deg]

135

n x 360

Wiederholgenauigkeit unidirektional

[µm; deg]

± 1.9

± 0.0017

Wiederholgenauigkeit bidirektional

[µm; deg]

± 2.4

± 0.005
Positioniergeschwindigkeit [mm/s, deg/s] 10 50

Max. Last

[N]

150

74

Motor

DC-Motor

AC-Servo

Antrieb Kugelgewindetrieb
Feedback

 

 Linearmesssystem

 Winkelmesssystem

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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