3LT300
Vakuum Sonderbaugruppen

782475:003.26

XYZ-Manipulator

Dieser 3-Achs-Manipulator ist für das Ultrahochvakuum konzipiert. Er verfügt über Verfahrwege von 100 x 10 x 10 mm. Das System weist folgende Eigenschaften auf: trockenlaufend für höchsten Vakuumanspruch, hohe Ausheiztemperatur und extrem stabiler Aufbau. Zur Stabiliserung des Systems werden zusätzliche Piezobremsen verwendet.


Ansprechpartner Vakuum-Sonderbaugruppen

Dipl.-Ing. Elger Matthes

Tel.: +49 (0) 351 88585-0

elger.matthes(at)steinmeyer.com