Inspection System for Solar Wafers
Inspection and Mikroscopy

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Inspection System for Solar Wafers - Inspection and Mikroscopy

 

A KT310 form our standard program was combined with a rotation stage carrying a vacuum chuck. A light barrier senses the edges of the wafer an the chuck. The setup is being used for laser structuring of solar cells.

 

Verwendete Standard Komponenten

KT305-EDLM

Hochpräziser Scantisch mit 210 mm Verfahrweg, 0.3 µm Wiederholgenauigkeit, 8 kg Last

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